[发明专利]一种线性微波表面波等离子体沉积装置在审
| 申请号： | 201910784113.8 | 申请日： | 2019-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN110491762A | 公开（公告）日： | 2019-11-22 |
| 发明（设计）人： | 刘广桥;刘榛;董丽梅;杨斌;董向成 | 申请（专利权）人： | 兰州城市学院 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 730070 甘肃省兰州*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种线性微波表面波等离子体沉积装置，包括：磁控管、激励腔、环形器；所述进气孔开设在容器的顶端，且排气孔设置在真空墙体一侧的底部；所述衬底安装在容器底部的内侧；所述石英管安装在容器的内部；所述同轴波导安装在容器的两端，且石英管与同轴波导相贯通；所述同轴转换器安装在同轴波导的端部；通过对线性微波表面波等离子体沉积装置的改进，具有可在低压条件下沉积薄膜，能够激发出300*300mm的均匀等离子体，通过多跟石英管的叠加可以形成面积更大的等离子体，通过钕铁硼永磁铁减少带电离子损失，对同轴石英管外的等离子体起到增强和稳定的作用的优点，从而有效的解决了现有装置中出现问题和不足。 | ||
| 搜索关键词： | 石英管 同轴波导 等离子体沉积装置 等离子体 微波表面波 均匀等离子体 钕铁硼永磁铁 同轴转换器 沉积薄膜 带电离子 低压条件 现有装置 真空墙体 磁控管 环形器 激励腔 进气孔 排气孔 衬底 同轴 叠加 贯通 激发 改进 | ||
【主权项】：
1.一种线性微波表面波等离子体沉积装置，包括：磁控管(1)、激励腔(2)、环形器(3)、同轴转换器(4)、同轴波导(5)、石英管(6)、铜导线(7)、衬底(8)、排气孔(9)、容器(10)、进气孔(11)、永磁铁(12)；其特征在于：所述进气孔(11)开设在容器(10)的顶端，且排气孔(9)设置在真空墙体(10)一侧的底部；所述衬底(8)安装在容器(10)底部的内侧；所述石英管(6)安装在容器(10)的内部；所述同轴波导(5)安装在容器(10)的两端，且石英管(6)与同轴波导(5)相贯通；所述同轴转换器(4)安装在同轴波导(5)的端部，且同轴转换器(4)、同轴波导(5)、石英管(6)之间通过铜导线(7)连接；所述环形器(3)安装在同轴转换器(4)的底部，且激励腔(2)安装在环形器(3)的底部；所述磁控管(1)安装在激励腔(2)的下部；所述永磁铁(12)安装在容器(10)的上部。/n
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