[发明专利]一种氮氧传感器陶瓷芯体在审
| 申请号： | 201910780043.9 | 申请日： | 2019-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN110514718A | 公开（公告）日： | 2019-11-29 |
| 发明（设计）人： | 李可;贾广平;陈可;张宁宁;郑智 | 申请（专利权）人： | 深圳顺络电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/407 | 分类号： | G01N27/407 |
| 代理公司： | 44223 深圳新创友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 孟学英<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 518110 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种氮氧传感器陶瓷芯体，包括：第一基片的上表面设有加热电极，加热电极包裹在加热电极绝缘层中；第二基片的上表面设有参考电极和泄压孔，第三基片设有参考气体通道，上表面依序设置一级泵电极的下泵电极、二级泵电极的下泵电极和测量电极；第四基片上依序设置五个空腔，空腔之间设置屏障层，第五基片的下表面依序设置一级、二级泵电极的上泵电极，上表面设置公共电极；第三空腔的一级泵电极的上下泵电极通过第四基片的半通孔相连形成一级泵电极；第四空腔的二级泵电极的上下泵电极通过第四基片的半通孔相连形成所述二级泵电极。避免二级泵电极中贵金属金的挥发导致的测量电极污染、测量精度高且灵敏度好。 | ||
| 搜索关键词： | 电极 二级泵 上表面 空腔 加热电极 一级泵 测量电极 半通孔 上下泵 下泵 绝缘层 参考气体通道 测量精度高 传感器陶瓷 参考电极 公共电极 贵金属 灵敏度 屏障层 下表面 泄压孔 氮氧 挥发 上泵 芯体 污染 | ||
【主权项】：
1.一种氮氧传感器陶瓷芯体，其特征在于，包括第一基片、第二基片、第三基片、第四基片、第五基片由下到上依次叠压；/n所述第一基片的上表面设有加热电极，所述加热电极包裹在加热电极绝缘层中；/n所述第二基片的上表面设有参考电极，且所述第二基片上设置泄压孔，所述参考电极表面覆盖有多孔扩散层；/n所述第三基片设有参考气体通道，所述第三基片的上表面依序设置一级泵电极的下泵电极、二级泵电极的下泵电极和测量电极，所述测量电极在所述参考电极的正上方；/n所述第四基片上依序设置第一空腔、第二空腔、第三空腔、第四空腔和第五空腔，所述第一空腔和所述第二空腔之间设置有第一气体扩散障层，所述第二空腔和所述第三空腔之间设置有第二气体扩散障层，所述第三空腔和所述第四空腔之间设置第三气体扩散障层，所述第四空腔和所述第五空腔之间设置第四气体扩散障层；/n所述第五基片的下表面依序设置所述一级泵电极的上泵电极和所述二级泵电极的上泵电极，上表面设置公共电极，所述公共电极表面覆盖有多孔保护层；/n所述第三空腔的所述一级泵电极的下泵电极和上泵电极通过所述第四基片的半通孔相连形成所述一级泵电极；所述第四空腔的所述二级泵电极的下泵电极和上泵电极通过所述第四基片的半通孔相连形成所述二级泵电极。/n
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