[发明专利]一种ITO靶管与钛背管绑定预处理的方法有效
| 申请号： | 201910774085.1 | 申请日： | 2019-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN110453187B | 公开（公告）日： | 2020-09-01 |
| 发明（设计）人： | 陈明恒 | 申请（专利权）人： | 东莞市欧莱溅射靶材有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/08 |
| 代理公司： | 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 | 代理人： | 林晓宏 |
| 地址： | 523000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明为一种ITO靶管与钛背管绑定预处理的方法，包括钛背管和ITO靶管的分别处理，对ITO靶管的预处理包括外层涂覆高温胶、包覆加热布包实现内部金属化，高温胶保护ITO靶管表面避免损伤，使用加热布包使ITO靶管各处受热均匀，保温效果好，整体操作简单，预处理效果好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 ito 钛背管 绑定 预处理 方法 | ||
【主权项】：
1.一种ITO靶管与钛背管绑定预处理的方法，其特征在于包括如下步骤：/n1)钛背管喷砂、清洗、金属化处理；/n2)ITO靶管外层均匀涂覆高温胶，所述高温胶的厚度为2-4毫米，放置1-3小时自然晾干；/n3)使用加热布包将ITO靶管紧密包裹，开启加热布包对ITO管靶内部进行金属化，加热布包温度为189-428.6℃，全程保温；/n4)将金属化后的ITO靶管与钛背管绑定，将ITO靶管与钛背管的温度均保持在170-300℃。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东莞市欧莱溅射靶材有限公司，未经东莞市欧莱溅射靶材有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910774085.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
