[发明专利]一种ITO靶管与钛背管绑定预处理的方法

说明书

本发明为一种ITO靶管与钛背管绑定预处理的方法，包括钛背管和ITO靶管的分别处理，对ITO靶管的预处理包括外层涂覆高温胶、包覆加热布包实现内部金属化，高温胶保护ITO靶管表面避免损伤，使用加热布包使ITO靶管各处受热均匀，保温效果好，整体操作简单，预处理效果好。

技术领域

本发明涉及靶材加工技术领域，尤其涉及一种ITO靶管与钛背管绑定预处理的方法。

背景技术

ITO 是一种N型氧化物半导体-氧化铟锡，作为纳米铟锡金属氧化物，具有很好的导电性和透明性，可以切断对人体有害的电子辐射、紫外线及远红外线。因此，铟锡氧化物通常涂抹在玻璃、塑料及电子显示屏上，用作透明导电薄膜，同时减少对人体有害的电子辐射及紫外、红外。ITO薄膜的用处越来越广，而镀膜过程的主要原料需使用ITO靶材，为了提高ITO靶材溅射镀制效果，对靶材的预处理非常重要。ITO靶管在预处理过程中通常需要加热金属化，而ITO靶管表面易磕伤划伤，且管状靶材不易控制加热范围，以实现加热均匀，最后金属化均质的效果。为了提高靶材最后溅射镀膜效果，需要一种能够提高ITO靶管预处理效果的方法。

发明内容

本发明的目的在于针对以上技术问题，提供一种ITO靶管与钛背管绑定预处理的方法。

一种ITO靶管与钛背管绑定预处理的方法，包括如下步骤：

1）钛背管喷砂、清洗、金属化处理；

2）ITO靶管外层均匀涂覆高温胶，所述高温胶的厚度为2-4毫米，放置1-3小时自然晾干；

3）使用加热布包将ITO靶管紧密包裹，开启加热布包对ITO管靶内部进行金属化，加热布包温度为189-428.6℃，全程保温；

4）将金属化后的ITO靶管与钛背管绑定，将ITO靶管与钛背管的温度均保持在170-300℃。

在其中一个实施例中，所述步骤2）中，高温胶选用耐高温性能达到500℃以上的耐温环氧胶或聚酰亚胺胶，较佳的，高温胶选用软质弹性的耐温环氧胶或聚酰亚胺胶，高温胶使用涂抹的方式均匀涂覆在ITO靶管外层。

在其中一个实施例中，所述ITO靶管使用涂胶设备进行高温胶涂覆，所述涂胶设备包括定位转动装置和刮刀器，所述ITO靶管水平固定在定位转动装置上，定位转动装置带动ITO靶管匀速转动，转动过程中刮刀器通过前进后退距离进行厚度控制。

在其中一个实施例中，所述步骤3）中ITO靶管为单节靶管，所述ITO靶管金属化时间为2-3小时。

在其中一个实施例中，所述步骤3）中加热布包呈中间开口的圆柱体，所述加热布开口的两边设有粘接口，所述加热布包与所述ITO靶管尺寸相同。

在其中一个实施例中，所述加热布包内发热元件分布均匀，所述加热布包连接有用于调节功率的变压器。

使用以上方法对ITO靶管与钛背管进行绑定预处理，具有以下进步：

（1）涂覆的高温胶在ITO靶管外层形成保护层，避免操作过程中对ITO靶管表面的磕碰划伤，使得ITO靶管表面各处受热均匀；

（2）加热布包对包裹的ITO靶管加热均匀，在高温胶保护膜的辅助下，ITO靶管各处受热均匀，且保温效果好，利于温度的控制。

具体实施方式

下面结合实施方式对本发明作进一步详细的说明。

一种ITO靶管与钛背管绑定预处理的方法，包括如下步骤：

1）钛背管喷砂、清洗、金属化处理；