[发明专利]一种基于贝塞尔光束的复合脉冲激光深孔加工装置有效
| 申请号： | 201910771569.0 | 申请日： | 2019-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN110640338B | 公开（公告）日： | 2021-04-20 |
| 发明（设计）人： | 任乃飞;辛志铎;任云鹏;林卿;陆恒 | 申请（专利权）人： | 江苏大学 |
| 主分类号： | B23K26/382 | 分类号： | B23K26/382;B23K26/0622 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 212013 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于贝塞尔光束的复合脉冲激光深孔加工装置，包括短/超短脉冲激光光源、双面镀膜平面镜、小孔光阑、倍频晶体、准直镜、1/4波片、高斯‑贝塞尔转换装置、扫描振镜；利用复合脉冲激光进行微孔分步加工：先利用短脉冲激光加工效率高的优势进行微孔的初步加工，然后根据超短脉冲激光加工精度高、热影响区小的优势对上述初加工微孔进行重铸层及热影响区的去除。利用贝塞尔光束光斑直径小、焦深长的性质进行高深径比的微孔的加工；利用双面镀膜平面镜及小孔光阑进行同轴组束，并通过倍频装置统一复合激光的波长，保证了复合脉冲激光在同一光学系统中传输稳定性，提高复合脉冲激光的加工精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 贝塞尔 光束 复合 脉冲 激光 加工 装置 | ||
【主权项】：
1.一种基于贝塞尔光束的复合脉冲激光深孔加工装置，其特征在于，包括超短脉冲激光光源(1)、短脉冲激光光源(4)、反射镜(3)、双面镀膜平面镜(6)、小孔光阑(7)、倍频晶体(8)、准直镜(9)、1/4波片(10)、高斯-贝塞尔转换装置(11)、扫描振镜(12)和工件(13)；/n所述超短脉冲激光光源(1)波长为短脉冲激光光源(4)波长的2倍；/n所述短脉冲激光光源(4)发出的激光束辐照在双面镀膜平面镜(6)上，经双面镀膜平面镜(6)后经小孔光阑(7)、准直镜(9)、1/4波片(10)、高斯-贝塞尔转换装置(11)、扫描振镜(12)辐照在工件(13)上进行打孔；/n所述超短脉冲激光光源(1)发出的激光束辐照在双面镀膜平面镜(6)上，经双面镀膜平面镜(6)后经小孔光阑(7)、倍频晶体(8)、准直镜(9)、1/4波片(10)、高斯-贝塞尔转换装置(11)、扫描振镜(12)辐照在工件(13)上去重铸层及热影响区。/n
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