[发明专利]柔性衬底溢出气体检测方法在审
| 申请号： | 201910766122.4 | 申请日： | 2019-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN110487930A | 公开（公告）日： | 2019-11-22 |
| 发明（设计）人： | 李夫 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N30/02 | 分类号： | G01N30/02;G01N30/72;G01N5/04;G01N27/62;H01L21/66 |
| 代理公司： | 44265 深圳市德力知识产权代理事务所 | 代理人： | 林才桂;王中华<国际申请>=<国际公布> |
| 地址： | 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种柔性衬底溢出气体检测方法。该方法包括如下步骤：步骤S1、提供一待测试柔性衬底，截取所述待测试柔性衬底中相邻的两个部分，分别作为第一样品和第二样品；步骤S2、采用第一检测方法对所述第一样品进行溢出气体检测，得到第一检测结果；步骤S3、采用第二检测方法对所述第二样品进行溢出气体检测，得到第二检测结果，所述第二检测方法不同于第一检测方法；步骤S4、记录第一检测结果和第二检测结果，并以第一检测结果和第二检测结果共同作为目标检测结果，通过采用两种不同检测方法对待测试柔性衬底的两块样品进行两次检测，得到目标检测结果，能够提升柔性衬底溢出气体检测的准确性及全面性。 | ||
| 搜索关键词： | 第二检测 衬底 气体检测 溢出 测试柔性 检测结果 目标检测 检测 两次检测 全面性 截取 记录 | ||
【主权项】：
1.一种柔性衬底溢出气体检测方法，其特征在于，包括如下步骤：/n步骤S1、提供一待测试柔性衬底(1)，截取所述待测试柔性衬底(1)中相邻的两个部分，分别作为第一样品(10)和第二样品(20)；/n步骤S2、采用第一检测方法对所述第一样品(10)进行溢出气体检测，得到第一检测结果；/n步骤S3、采用第二检测方法对所述第二样品(20)进行溢出气体检测，得到第二检测结果，所述第二检测方法不同于第一检测方法；/n步骤S4、记录第一检测结果和第二检测结果，并以第一检测结果和第二检测结果共同作为目标检测结果。/n
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