[发明专利]一种铝铬硼合金靶材及其制备方法在审
| 申请号： | 201910766038.2 | 申请日： | 2019-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN110527957A | 公开（公告）日： | 2019-12-03 |
| 发明（设计）人： | 姜海;唐培新;吕晓明;姜慧;王瑞刚;许凤志 | 申请（专利权）人： | 河北宏靶科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22C1/04;C22C21/00 |
| 代理公司： | 11448 北京中强智尚知识产权代理有限公司 | 代理人： | 黄耀威<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 072750 河北*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种铝铬硼合金靶材，以原子百分比计，其成分包括铝30‑80at％，铬10ˉ50％，硼5‑30at％。本发明还提供了一种铝铬硼合金靶材的制备方法，步骤包括：将铝粉和硼粉在真空或高纯氩气保护条件下混合；将混匀的粉末烧结得到铝硼合金块；将铝硼合金块破碎成铝硼合金粉末；将铬粉和铝硼合金粉末在真空或高纯氩气保护条件下混合、再冷等静压压制得金属块体；将金属块体装入包套中脱气处理后在热等静压设备中烧结压制得到合金锭坯；最后将合金锭坯机加工、清洗得成品靶材。本发明制得的铝铬硼合金靶材，致密性好，无气孔、无疏松和偏析，成分均匀，晶粒细小，规格尺寸大。 | ||
| 搜索关键词： | 铝硼合金 靶材 硼合金 铝铬 保护条件 高纯氩气 合金锭坯 金属块体 压制 热等静压设备 原子百分比 晶粒 粉末烧结 冷等静压 脱气处理 致密性好 烧结 机加工 包套 铬粉 混匀 铝粉 硼粉 偏析 疏松 制备 装入 破碎 清洗 | ||
【主权项】：
1.一种铝铬硼合金靶材，其特征在于：以原子百分比计，其成分包括铝30-80at％，铬10ˉ50％，硼5-30at％。/n
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