[发明专利]检测冻干过程中硅油泄漏的质谱装置及方法在审
| 申请号： | 201910760190.X | 申请日： | 2019-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN110648895A | 公开（公告）日： | 2020-01-03 |
| 发明（设计）人： | 薛兵;景加荣;孙露露;胡波;唐朝阳;于佳佳;周飞宇;胡继闯;罗勇 | 申请（专利权）人： | 上海裕达实业有限公司 |
| 主分类号： | H01J49/04 | 分类号： | H01J49/04;H01J49/06;H01J49/00;G01M3/20 |
| 代理公司： | 31334 上海段和段律师事务所 | 代理人： | 李佳俊;郭国中 |
| 地址： | 200245 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种检测冻干过程中硅油泄漏的质谱装置及方法，包括：内胆电极；进样管，一端朝向所述内胆电极，将待测气体引入所述内胆电极；第一电离源，朝向所述内胆电极，电离待测气体中的硅油中性分子，得到对应的正离子；质量分析器，与所述内胆电极之间设置有传输聚焦电极；其中，正离子受所述内胆电极所产生的电场力牵引，并通过所述传输聚焦电极将正离子引入所述质量分析器。本发明可实时在线检测冻干过程中硅油泄漏的质谱，填补了国内此类产品的技术空白。 | ||
| 搜索关键词： | 电极 内胆 正离子 质量分析器 待测气体 硅油泄漏 聚焦电极 冻干 实时在线检测 技术空白 质谱装置 中性分子 传输 电离 电场力 电离源 进样管 种检测 引入 硅油 质谱 牵引 填补 | ||
【主权项】：
1.一种检测冻干过程中硅油泄漏的质谱装置，其特征在于，包括：/n内胆电极；/n进样管，一端朝向所述内胆电极，将待测气体引入所述内胆电极；/n第一电离源，朝向所述内胆电极，电离待测气体中的硅油中性分子，得到对应的正离子；/n质量分析器，与所述内胆电极之间设置有传输聚焦电极；/n其中，正离子受所述内胆电极所产生的电场力牵引，并通过所述传输聚焦电极将正离子引入所述质量分析器。/n
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