[发明专利]一种光场动态可调的多激光焦点切割脆性材料装置及方法在审
申请号: | 201910752344.0 | 申请日: | 2019-08-15 |
公开(公告)号: | CN110303243A | 公开(公告)日: | 2019-10-08 |
发明(设计)人: | 周天丰;刘朋;阮本帅;颜培;梁志强;刘志兵;解丽静;焦黎;王西彬 | 申请(专利权)人: | 北京理工大学 |
主分类号: | B23K26/06 | 分类号: | B23K26/06;B23K26/064;B23K26/38;B23K26/70 |
代理公司: | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人: | 张琳丽 |
地址: | 100081 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开一种光场动态可调的多激光焦点切割脆性材料装置及方法,涉及脆性材料切割技术领域,包括多条激光器支路,每条所述激光器支路均包括一个激光器,所述激光器通过光纤连接有光纤耦合器,所述光纤耦合器后设置有扩束镜,所述扩束镜后设置有聚焦镜;还包括有分光棱镜,所述分光棱镜逆向使用,用于对多条所述激光器支路中聚焦后的激光光束进行合束,从而在同一光轴上产生多个激光焦点,用于对待切割分离材料进行切割。本发明通过对激光焦点数量、位置、功率密度进行精确调控,在材料内部始终产生同所切割分离材料结构相匹配的动态激光光场,从而完成具有复杂结构的脆性材料的激光分离。 | ||
搜索关键词: | 激光器 激光焦点 支路 光场 切割脆性材料 光纤耦合器 动态可调 分光棱镜 切割分离 扩束镜 脆性材料切割 材料结构 材料内部 脆性材料 动态激光 复杂结构 光纤连接 激光光束 精确调控 同一光轴 聚焦镜 合束 匹配 切割 激光 聚焦 | ||
【主权项】:
1.一种光场动态可调的多激光焦点切割脆性材料装置,其特征在于:包括多条激光器支路,每条所述激光器支路均包括一个激光器,用于提供激光光束;所述激光器通过光纤连接有光纤耦合器,所述光纤耦合器后设置有扩束镜,用于扩束激光光束;所述扩束镜后设置有聚焦镜,用于对激光光束进行聚焦;还包括有分光棱镜,所述分光棱镜逆向使用,用于对多条所述激光器支路中聚焦后的激光光束进行合束,从而在同一光轴上产生多个激光焦点,用于对待切割分离材料进行切割。
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