[发明专利]一种划片机在审
| 申请号： | 201910750185.0 | 申请日： | 2019-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN110524732A | 公开（公告）日： | 2019-12-03 |
| 发明（设计）人： | 赵彤宇;张志强;李振;司亚辉;孙伟 | 申请（专利权）人： | 郑州光力瑞弘电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/00 | 分类号： | B28D5/00;B28D5/04 |
| 代理公司： | 41119 郑州睿信知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王子龙<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 450000 河南省郑州市航空港区郑港六*** | 国省代码： | 河南;41 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及晶圆切割技术领域，尤其涉及一种划片机。具体地，划片机的刀具冷却干燥系统，包括：控制系统；液体管路，其上串接有液路控制阀；气体管路，其上串接有气路控制阀；以及配置在空气静压高速主轴的用于安装刀片的一端的刀侧喷头，刀侧喷头用于从刀片的轴向侧面向刀片喷吹；液体管路和气体管路均与刀侧喷头相连通，控制系统分别与液路控制阀和气路控制阀控制连接，并分别控制气路控制阀和液路控制阀的通断，以实现对刀侧喷头单独供气或供液。本发明的划片机利用了刀侧喷头对刀片进行吹气干燥，并不过多的增加主轴端部结构的复杂性，而且从刀片的轴向旁侧对刀片吹气，也能够提高刀片的干燥程度和干燥效率。 | ||
| 搜索关键词： | 刀片 喷头 刀侧 液路控制阀 划片机 控制系统 气体管路 液体管路 控制阀 串接 吹气 控制阀控制 刀具冷却 干燥系统 干燥效率 高速主轴 晶圆切割 空气静压 控制气路 轴向侧面 主轴端部 供液 喷吹 通断 轴向 供气 配置 | ||
【主权项】：
1.一种划片机，其特征是，包括：/n机架；/n空气静压高速主轴；/n刀具冷却干燥系统，包括：/n控制系统；/n液体管路，其上串接有液路控制阀；/n气体管路，其上串接有气路控制阀；以及/n配置在空气静压高速主轴的用于安装刀片的一端的刀侧喷头，刀侧喷头用于从刀片的轴向侧面向刀片喷吹；/n液体管路和气体管路均与刀侧喷头相连通，控制系统分别与液路控制阀和气路控制阀控制连接，并分别控制气路控制阀和液路控制阀的通断，以实现对刀侧喷头单独供气或供液。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于郑州光力瑞弘电子科技有限公司，未经郑州光力瑞弘电子科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910750185.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：管芯分割系统和方法
- 下一篇：一种用于制作太阳能光伏板的硅棒用切片装置
