[发明专利]准分子光源有效
| 申请号： | 201910748148.6 | 申请日： | 2011-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN110459460B | 公开（公告）日： | 2023-03-21 |
| 发明（设计）人： | 詹姆士·兰德尔·库珀;罗纳德·W·查非 | 申请（专利权）人： | 新技术水液规划公司 |
| 主分类号： | H01J61/06 | 分类号： | H01J61/06;H01J61/067;H01J61/073;H01J61/16;H01J65/04;H05B41/24;H05B41/30;C02F1/32;G21K5/08 |
| 代理公司： | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人： | 王达佐;王艳春 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种光源，其中具有交变极性的电极附接至准分子紫外(UV)灯中的基底，用于在每个电极之间产生等离子体放电。基底的形状可成型和控制等离子体放电以减少易受卤素攻击的材料的暴露。电极可定位使得等离子体放电发生在使卤素与灯外壳的易损部分产生较少接触的区域中。诸如电极、基底和包封的材料可选择为抵抗腐蚀性材料。在另一实施方式中，多个密封管位于两个电极之间，多个密封管中的至少一些包含准分子气体。 | ||
| 搜索关键词： | 分子 光源 | ||
【主权项】：
1.一种紫外(UV)准分子灯，包括：/n包封，沿所述包封的长度是UV透射的；/n准分子气体，由所述包封包围；/n至少一个第一长型电极，沿所述包封的长度延伸并具有第一极性，所述至少一个第一长型电极由所述包封包围；以及/n至少一个第二长型电极，由所述包封包围并沿所述包封的长度延伸，所述至少一个第二长型电极具有与所述第一极性相反的第二极性并且基本平行于所述至少一个第一长型电极；/n其中，所述第一长型电极和所述第二长型电极与所述包封和在所述包封上涂覆的任何材料隔开；/n其中，所述准分子气体的压强乘以所述第一长型电极和所述第二长型电极之间的最小距离、或者乘以覆盖所述第一长型电极的涂覆表面和覆盖所述第二长型电极的涂覆表面之间的最小距离在0.1Torr-cm-5000Torr-cm的范围内，以适于产生微放电。/n
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