[发明专利]基于铪系铁电薄膜的声表面波器件及薄膜体声波器件有效
| 申请号： | 201910739639.4 | 申请日： | 2019-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN110601673B | 公开（公告）日： | 2021-08-13 |
| 发明（设计）人： | 任天令;王方伟;杨轶;赵瑞婷;简锦明 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H9/02;H03H9/17;H03H9/64 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 廖元秋 |
| 地址： | 100084*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了基于铪系铁电薄膜的声表面波器件及薄膜体声波器件，声表面波器件包括在衬底上集成的谐振/滤波组件和传感组件中的任意一种或两种，各组件均分别包括依次层叠的底电极层、压电层和顶电极层；薄膜体声波器件包括在衬底上集成的谐振/滤波组件、传感组件中的任意一种或两种，各组件均分别包括依次层叠的底电极层、压电层和顶电极层；两类声波器件中的各压电层均分别是通过掺杂有锆、铝或硅的铪系铁电薄膜，使用原子层沉积工艺制得。本发明能够在铪系铁电薄膜上制备出两类声波器件和存储器件，可以将环境感知、信号处理与存储进行集成，有利于提高电子设备的集成度和工作速度。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 铪系铁电 薄膜 表面波 器件 声波 | ||
【主权项】：
1.一种基于铪系薄膜的声表面波器件，其特征在于，包括一衬底，该衬底上设有谐振/滤波组件和传感组件中的任意一种或两种；所述谐振/滤波组件包括在所述衬底上依次层叠的第一底电极层、第一压电层和第一顶电极层；所述传感组件包括在所述衬底上依次层叠的第二底电极层、第二压电层和第二顶电极层；所述第一顶电极层包括多个第一叉指电极；所述第二顶电极层包括敏感薄膜和多个第二叉指电极；各所述压电层均为铪系铁电薄膜。/n
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