[发明专利]一种低噪声红外检测器结构、芯片及其测试方法有效
| 申请号： | 201910733252.8 | 申请日： | 2019-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN110440930B | 公开（公告）日： | 2021-11-19 |
| 发明（设计）人： | 康晓旭;蒋宾 | 申请（专利权）人： | 上海集成电路研发中心有限公司 |
| 主分类号： | G01J5/02 | 分类号： | G01J5/02 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 吴世华;尹一凡 |
| 地址： | 201210 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种低噪声红外检测器结构及具有该结构的晶圆，该结构包括像元阵列、补正单元和输出放大单元；补正单元包括补偿映射关系模块、控制接口模块和盲元调节模块；盲元调节模块串接在像元阵列每一列所对应的盲元与接地端之间，盲元调节模块为多个串接的电阻和开关组，电阻和开关组为一个电阻和一个开关的并联结构，盲元调节模块中开关的断开/闭合状态决定了盲元调节模块的电阻值；其中，补偿映射关系模块用于存储所述电阻和开关组中开关的断开/闭合状态组合与工艺条件参数的映射关系，当低噪声红外检测器结构制作完成后，控制接口模块接收工艺条件参数，根据映射关系控制各电阻和开关组中开关的断开/闭合。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 噪声 红外 检测器 结构 芯片 及其 测试 方法 | ||
【主权项】：
1.一种低噪声红外检测器结构，包括X＊Y像元阵列和输出放大单元，所述像元阵列包括X＊Y个像元、行选单元、列选单元、第一输出选通控制信号、第二输出选通控制信号和Y个盲元，所述X＊Y个像元通过行选单元和列选单元分别同上述Y个盲元串接，所述输出放大单元输出所述像元阵列中所述像元的温度输出值；其特征在于，还包括用于噪声补正的补正单元，所述补正单元串接在所述盲元和地之间，所述补正单元包括补偿映射关系模块、控制接口模块和盲元调节模块；所述盲元调节模块串接在所述像元阵列每一列所对应的盲元与接地端之间，所述盲元调节模块为N个串接的电阻和开关组，所述电阻和开关组为一个电阻和一个开关的并联结构，所述盲元调节模块中开关的断开/闭合状态决定了所述盲元调节模块的电阻值，其中，所述N为正整数；所述补偿映射关系模块用于存储所述N个串接的电阻和开关组中开关的断开/闭合状态组合与工艺条件参数的映射关系；所述控制接口模块接收所述工艺条件参数，并根据所述映射关系控制各所述电阻和开关组中开关的断开/闭合。
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