[发明专利]一种变焦筒镜、缺陷检测装置及缺陷检测方法有效
| 申请号： | 201910731560.7 | 申请日： | 2019-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN110441234B | 公开（公告）日： | 2020-07-10 |
| 发明（设计）人： | 陈创创 | 申请（专利权）人： | 上海御微半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/01 | 分类号： | G01N21/01;G01N21/95;G01N21/956 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区中国*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种变焦筒镜、缺陷检测装置和缺陷检测方法，该变焦筒镜包括沿光轴从物侧到像侧依次排列的光阑、负光焦度的第一固定镜组、正光焦度的第一变焦镜组、负光焦度的第二变焦镜组、正光焦度的补偿镜组和正光焦度第二固定镜组。通过固定第一固定镜组和所述第二固定镜组的位置，在变焦过程中，使第一变焦镜组和第二变焦镜组沿光轴移动，以调节变焦筒镜的焦距；同时通过使补偿镜组沿光轴移动，以实现不同焦距下的对焦，从而使变焦筒镜能够实现成像倍率的连续变化，且具有较好的成像质量，以提高检测精度和检测效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 变焦 缺陷 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种变焦筒镜，其特征在于，包括沿光轴从物侧到像侧依次排列的光阑、负光焦度的第一固定镜组、正光焦度的第一变焦镜组、负光焦度的第二变焦镜组、正光焦度的补偿镜组和正光焦度第二固定镜组；其中，所述第一变焦镜组和所述第二变焦镜组在变焦过程中沿所述光轴移动；所述补偿镜组在对焦过程中沿所述光轴移动；所述第一固定镜组和所述第二固定镜组的位置固定。
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