[发明专利]一种透射旋转对称非球面检测系统和方法在审
| 申请号： | 201910722631.7 | 申请日： | 2019-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN110319793A | 公开（公告）日： | 2019-10-11 |
| 发明（设计）人： | 程雪岷;刘灵成;郝群;林宇仁 | 申请（专利权）人： | 清华大学深圳研究生院 |
| 主分类号： | G01B11/27 | 分类号： | G01B11/27;G01M11/02 |
| 代理公司： | 深圳新创友知识产权代理有限公司 44223 | 代理人： | 王震宇 |
| 地址： | 518055 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种透射旋转对称非球面检测系统，该系统包括在光路上依次设置的激光器、准直透镜、聚焦透镜、待测镜片托盘、扩束镜和波前传感器，用于驱动聚焦透镜沿光轴方向移动的第一驱动器，用于驱动待测镜片托盘沿垂直光轴的XY方向平移的第二驱动器，用于驱动扩束镜沿光轴方向移动的第三驱动器，以及旋转位移器，对放置在待测镜片托盘的镜片限位孔中的待测镜片进行旋转。使用本系统的检测方法中，将波前三阶Coma像差的一阶旋转特征应用于误差分析，确定三阶Coma像差的节点位置和对应的矢径的分布，将矢径的分布图及参数与标准元件对比，实现快速地对镜片加工偏心等误差的高精度检测。 | ||
| 搜索关键词： | 驱动器 镜片托盘 旋转对称非球面 光轴方向移动 检测系统 扩束镜 镜片 透射 三阶 矢径 像差 驱动聚焦透镜 偏心 波前传感器 高精度检测 平移 驱动 标准元件 垂直光轴 节点位置 镜片加工 聚焦透镜 特征应用 误差分析 旋转位移 依次设置 准直透镜 激光器 分布图 限位孔 一阶 检测 | ||
【主权项】：
1.一种透射旋转对称非球面检测系统，其特征在于,包括在光路上依次设置的激光器、准直透镜、聚焦透镜、待测镜片托盘、扩束镜和波前传感器，以及与所述聚焦透镜相耦合用于驱动所述聚焦透镜沿光轴方向移动的第一驱动器，与所述待测镜片托盘相耦合用于驱动所述待测镜片托盘沿垂直光轴的XY方向平移的第二驱动器，与所述扩束镜相耦合用于驱动所述扩束镜沿光轴方向移动的第三驱动器，以及与所述待测镜片托盘相配合设置的旋转位移器，所述旋转位移器用于对放置在所述待测镜片托盘的镜片限位孔中的待测镜片进行旋转，以实现旋转波前测量。
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