[发明专利]一种快速制备表面周期结构方法有效
| 申请号： | 201910675104.5 | 申请日： | 2019-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN110303244B | 公开（公告）日： | 2020-11-27 |
| 发明（设计）人： | 陈勇;王少义;张强强;杨祖华;范全平;魏来;巫殷忠;曹磊峰 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | B23K26/0622 | 分类号： | B23K26/0622;B23K26/067 |
| 代理公司： | 成都佳划信知识产权代理有限公司 51266 | 代理人： | 邹翠 |
| 地址： | 621000 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种快速制备表面周期结构方法，包括中心线重合、且依次布设的飞秒激光器和扩束系统，设置在飞秒激光器与扩束系统之间、且沿光线传输方向依次布设的半波片和格兰泰勒棱镜，以及设置在扩束系统后、用于形成尺寸可调的空心聚焦光束的空心聚焦元器件。制备表面周期结构方法包括以下步骤：利用飞秒激光器产生激光束，并经半波片调整入射的激光束的激光强度和经格兰泰勒棱镜调整激光束的偏振方向；利用扩束系统扩展激光束；调整空心聚焦元器件的物距，以连续改变空心聚焦光束半径并进行极坐标径向扫描。通过上述方案，本发明具有结构简单、制备效率高等优点，在微纳结构制备技术领域具有很高的实用价值和推广价值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 快速 制备 表面 周期 结构 方法 | ||
【主权项】：
1.一种快速制备表面周期结构方法，包括中心线重合、且依次布设的飞秒激光器和扩束系统，其特征在于，还包括设置在飞秒激光器与扩束系统之间、且沿光线传输方向依次布设的半波片和格兰泰勒棱镜，以及设置在扩束系统后、用于形成尺寸可调的空心聚焦光束的空心聚焦元器件；制备表面周期结构方法，包括以下步骤：步骤S1，利用飞秒激光器产生激光束，并经半波片调整入射的激光束的激光强度和经格兰泰勒棱镜调整激光束的偏振方向；步骤S2，利用扩束系统扩展步骤S1中的激光束；步骤S3，调整空心聚焦元器件的物距，以连续改变空心聚焦光束半径并进行极坐标径向扫描。
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