[发明专利]一种基于光子晶体激光的光谱合束结构在审
申请号: | 201910664015.0 | 申请日: | 2019-07-22 |
公开(公告)号: | CN110224298A | 公开(公告)日: | 2019-09-10 |
发明(设计)人: | 郑婉华;邢晓旭;渠红伟;刘靖;陈忠浩 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | H01S5/06 | 分类号: | H01S5/06;H01S5/10;H01S5/024 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 马莉 |
地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 一种基于光子晶体激光的光谱合束结构,其激光光源包括至少两个快轴方向排列的光子晶体激光芯片,光束经准直镜准直后,在快轴方向上进行光谱合束得到光束阵列,可以得到小光斑尺寸、高亮度、高功率的激光输出。由于高亮度、低发散角的光子晶体激光芯片较商用半导体激光芯片的慢轴光束质量有较大改善,而激光芯片经过光谱合束后的光束质量与单个激光芯片的光束质量相当,所以基于光子晶体激光的光谱合束结构可以缩小输出激光快慢轴方向光束质量的差异。将多个光子晶体激光芯片在快轴方向排列,并结合光谱合束得到了基于光子晶体激光的光谱合束结构,缩小了光源体积,提高了激光光源的功率密度、光束质量和亮度,具有更广阔的应用前景。 | ||
搜索关键词: | 光子晶体 光谱 激光芯片 合束结构 激光 合束 快轴 方向排列 激光光源 半导体激光芯片 方向光束 光束阵列 输出激光 低发散 高功率 快慢轴 小光斑 准直镜 光源 慢轴 商用 输出 应用 | ||
【主权项】:
1.一种基于光子晶体激光的光谱合束结构,其特征在于,包括:激光光源,包含m个沿快轴方向排列的光子晶体激光芯片(10),其中m≥2;光谱合束结构,包含依次设置的:准直镜(20)、变换镜(30)、光栅(40)和外腔镜(50),该准直镜(20)、变换镜(30)、光栅(40)和外腔镜(50)共同形成一外腔反馈区;其中,激光光源与外腔反馈区构成一谐振腔,在快轴方向进行多个光子晶体激光芯片(10)的光谱合束,m个沿快轴方向排列的光子晶体激光芯片(10)发出的光束先通过准直镜(20),使光束经过准直后接近平行光,再经过变换镜(30)进行像质校正以使所有光子晶体激光芯片(10)的光束在光栅(40)处重合,经过光栅(40)后输出的激光以相同的衍射角出射,经过外腔镜(50)的输出激光在近场和远场重合,输出激光的光束质量和单个光子晶体激光芯片的光束质量相当。
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