[发明专利]一种基于光子晶体激光的光谱合束结构在审

专利信息
申请号: 201910664015.0 申请日: 2019-07-22
公开(公告)号: CN110224298A 公开(公告)日: 2019-09-10
发明(设计)人: 郑婉华;邢晓旭;渠红伟;刘靖;陈忠浩 申请(专利权)人: 中国科学院半导体研究所
主分类号: H01S5/06 分类号: H01S5/06;H01S5/10;H01S5/024
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 马莉
地址: 100083 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 光子晶体 光谱 激光芯片 合束结构 激光 合束 快轴 方向排列 激光光源 半导体激光芯片 方向光束 光束阵列 输出激光 低发散 高功率 快慢轴 小光斑 准直镜 光源 慢轴 商用 输出 应用
【权利要求书】:

1.一种基于光子晶体激光的光谱合束结构,其特征在于,包括:

激光光源,包含m个沿快轴方向排列的光子晶体激光芯片(10),其中m≥2;

光谱合束结构,包含依次设置的:准直镜(20)、变换镜(30)、光栅(40)和外腔镜(50),该准直镜(20)、变换镜(30)、光栅(40)和外腔镜(50)共同形成一外腔反馈区;

其中,激光光源与外腔反馈区构成一谐振腔,在快轴方向进行多个光子晶体激光芯片(10)的光谱合束,m个沿快轴方向排列的光子晶体激光芯片(10)发出的光束先通过准直镜(20),使光束经过准直后接近平行光,再经过变换镜(30)进行像质校正以使所有光子晶体激光芯片(10)的光束在光栅(40)处重合,经过光栅(40)后输出的激光以相同的衍射角出射,经过外腔镜(50)的输出激光在近场和远场重合,输出激光的光束质量和单个光子晶体激光芯片的光束质量相当。

2.根据权利要求1所述的基于光子晶体激光的光谱合束结构,其特征在于,所述m个沿快轴方向排列的光子晶体激光芯片(10)中的每个光子晶体激光芯片(10)采用的是高亮度、低发散角的光子晶体增益芯片。

3.根据权利要求1所述的基于光子晶体激光的光谱合束结构,其特征在于,所述m个沿快轴方向排列的光子晶体激光芯片(10)中的每个光子晶体激光芯片(10)为毫米量级的微型巴条光子晶体激光芯片,每个光子晶体激光芯片为独立封装,采用巴条激光芯片的封装形式,使用基于传导冷却的CS热沉或主动冷却的微通道热沉。

4.根据权利要求1所述的基于光子晶体激光的光谱合束结构,其特征在于,每个光子晶体激光芯片(10)靠近外腔反馈区的一侧(12)镀有增透膜,远离外腔反馈区的一侧(11)镀有高反膜或部分反射部分透射膜,相应的,在外腔镜(50)的表面镀有部分反射部分透射膜或高反膜。

5.根据权利要求1所述的基于光子晶体激光的光谱合束结构,其特征在于,所述准直镜(20)为准直度较好且对光束质量影响较小的微透镜,包括如下准直镜型形式之一:球面准直镜、自聚焦准直镜、非球面准直柱面镜、非球面准直柱面镜阵列、或非球面反射准直镜。

6.根据权利要求1所述的基于光子晶体激光的光谱合束结构,其特征在于,所述光子晶体激光芯片(10)和光栅(40)在光路中分别位于距离变换镜(30)前、后一个焦距的位置。

7.根据权利要求1所述的基于光子晶体激光的光谱合束结构,其特征在于,所述光栅(40)为透射型或反射型衍射光栅;和/或,所述光栅(40)为面光栅或体光栅。

8.根据权利要求6所述的基于光子晶体激光的光谱合束结构,其特征在于,m个光子晶体激光芯片(10)沿其快轴方向依顺序放置,所述m个光子晶体激光芯片(10)沿着光路在经过光栅(40)后输出的激光以相同的衍射角出射,只有满足光栅衍射方程中光栅常数、激光的入射角、衍射角、衍射级次和入射波长关系的激光才能形成有效谐振,经过外腔镜(50)后可以部分反射回原激光芯片继续振荡,部分透射得到有效的激光输出。

9.根据权利要求1所述的基于光子晶体激光的光谱合束结构,其特征在于,所述外腔镜(50)为反射镜或柱面镜。

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