[发明专利]一种双等离子体谐振器在审
| 申请号： | 201910655980.1 | 申请日： | 2019-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN110418486A | 公开（公告）日： | 2019-11-05 |
| 发明（设计）人： | 李震宇;修建勇 | 申请（专利权）人： | 武汉光盛通设备咨询有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/28 | 分类号： | H05H1/28;H05H1/30 |
| 代理公司： | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 | 代理人： | 刘秋芳 |
| 地址： | 430064 湖北省武汉市武昌区*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种双等离子体谐振器，包括外部水冷套、置于外部水冷套内并呈圆柱状薄壁结构的谐振腔、与谐振腔相连通并支撑谐振腔的波导管以及套设在波导管外并支撑外部水冷套的下部水冷套，所述谐振腔和外部水冷套的两端分别设有外径缩小的台阶状圆形开口，所述谐振腔的端部和外部水冷套的端部设有一定的间隙。本发明所述的双等离子体谐振器，采用圆柱形谐振腔体，通过理论计算、设计，则是在谐振腔体中产生两个等离子球，两个等离子体按波导管与谐振腔的相对位置比例分配输入的微波能量，这样可以提高气体原料的反应速度，优化反应物的均匀性，同时避免在高微波能量输入时产生能量过于集中的等离子体，造成谐振腔、石英管的破坏。 | ||
| 搜索关键词： | 谐振腔 水冷套 等离子体谐振 波导管 外部 等离子体 微波能量 圆柱形谐振腔体 薄壁结构 比例分配 理论计算 气体原料 外径缩小 谐振腔体 圆形开口 等离子 反应物 均匀性 石英管 台阶状 圆柱状 支撑 优化 | ||
【主权项】：
1.一种双等离子体谐振器，其特征在于：包括外部水冷套、置于外部水冷套内并呈圆柱状薄壁结构的谐振腔、与谐振腔相连通并支撑谐振腔的波导管以及套设在波导管外并支撑外部水冷套的下部水冷套，所述谐振腔和外部水冷套的两端分别设有外径缩小的台阶状圆形开口，所述谐振腔的端部和外部水冷套的端部设有一定的间隙。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于武汉光盛通设备咨询有限公司，未经武汉光盛通设备咨询有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910655980.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种大面积水下等离子体发生装置
- 下一篇：长寿命空气等离子发生器
