[发明专利]电容式气体传感器及其制造方法在审
| 申请号： | 201910649771.6 | 申请日： | 2019-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN110736773A | 公开（公告）日： | 2020-01-31 |
| 发明（设计）人： | F.盖拉德;T.斐利比;C.格雷泽 | 申请（专利权）人： | 梅斯法国公司 |
| 主分类号： | G01N27/22 | 分类号： | G01N27/22 |
| 代理公司： | 11105 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 贺紫秋 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 法国;FR |
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| 摘要： | 本发明提供一种电容式气体传感器及其制造方法，其中所述电容式气体传感器包括：第一电极(210；310；410；510)；第二电极(220；320；420；520)；气敏电介质材料(240；340；440；540)，其布置在第一和第二电极之间以形成气敏电容器，气敏电介质材料(240；340；440；540)具有取决于从环境介质吸收的气体化合物的量的介电常数；以及电介质‑电极界面材料(250；350；450；550)，其布置在第一和第二电极中的至少一个与气敏电介质材料(240；340；440；540)的界面处。电介质‑电极界面材料(250；350；450；550)适于吸收第一和第二电极中的所述至少一个的热致膨胀，用以降低气敏电介质材料(240；340；440；540)上的机械应力。 | ||
| 搜索关键词： | 电介质材料 第二电极 电介质 电容式气体传感器 电极界面 电容器 气体化合物 第一电极 环境介质 机械应力 介电常数 界面处 吸收 膨胀 制造 | ||
【主权项】：
1.一种电容式气体传感器，包括：/n第一电极(210；310；410；510)；/n第二电极(220；320；420；520)；/n气敏电介质材料(240；340；440；540)，其布置在第一和第二电极之间，以形成气敏电容器，气敏电介质材料(240；340；440；540)具有取决于从环境介质吸收的气体化合物的量的介电常数；以及/n电介质-电极界面材料(250；350；450；550)，其布置在第一和第二电极中的至少一个与气敏电介质材料(240；340；440；540)之间的界面处，电介质-电极界面材料(250；350；450；550)适于吸收第一和第二电极中的所述至少一个的热致膨胀，用以降低施加在气敏电介质材料(240；340；440；540)上的机械应力。/n
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