[发明专利]一种准分子激光刻蚀氟化钙晶体形成周期性条纹的方法在审
| 申请号： | 201910634479.7 | 申请日： | 2019-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN110385530A | 公开（公告）日： | 2019-10-29 |
| 发明（设计）人： | 邵景珍;方晓东;梁勖;林颖;邓赞红;王时茂 | 申请（专利权）人： | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 主分类号： | B23K26/362 | 分类号： | B23K26/362;B23K26/402;B23K26/064 |
| 代理公司： | 合肥和瑞知识产权代理事务所(普通合伙) 34118 | 代理人： | 郑琍玉 |
| 地址： | 230031 安徽省合肥*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种准分子激光刻蚀氟化钙晶体形成周期性条纹的方法。该方法使准分子激光器产生的纳秒紫外脉冲光束依次经衰减片、成像光阑和聚焦物镜整形后辐照在氟化钙晶体表面。本发明不仅在氟化钙晶体形成周期性条纹，而且制备方法耗时短、效率高，准分子激光与氟化钙晶体材料的作用时间仅为几十纳秒，整个激光作用过程也仅需数秒即可完成。本发明提供的方法简单易控，激光的能量密度和频率、辐照的时间和脉冲数等均可精确控制。本发明提供的方法中使用了纳秒准分子激光，相对飞秒激光成本更低。 | ||
| 搜索关键词： | 氟化钙晶体 准分子激光 周期性条纹 辐照 刻蚀 氟化钙晶体材料 激光作用过程 准分子激光器 飞秒激光 聚焦物镜 紫外脉冲 脉冲数 衰减片 整形 光阑 制备 成像 耗时 激光 | ||
【主权项】：
1.一种准分子激光刻蚀氟化钙晶体形成周期性条纹的方法，其特征在于：使准分子激光器产生的纳秒紫外脉冲光束依次经衰减片、成像光阑和聚焦物镜整形后辐照在氟化钙晶体表面。
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