[发明专利]一种切割氧化物陶瓷基片的方法在审

专利信息
申请号: 201910633697.9 申请日: 2019-07-15
公开(公告)号: CN110340542A 公开(公告)日: 2019-10-18
发明(设计)人: 林尧伟;谢斌;林俊羽;林柏希 申请(专利权)人: 汕尾市索思电子封装材料有限公司
主分类号: B23K26/38 分类号: B23K26/38;B23K26/402
代理公司: 深圳茂达智联知识产权代理事务所(普通合伙) 44394 代理人: 刘飞燕
地址: 516626 广*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了一种切割氧化物陶瓷基片的方法,包括如下步骤:待切割的氧化物陶瓷基片表面进行标记;将氧化物陶瓷基片固定在激光切割器中,采用低功率激光沿标记进行多次重复切割,直至切割深度达设定比例;对切割后的氧化物陶瓷基片施力,使氧化物陶瓷基片沿切割轨迹断裂完成切割。本发明提供的一种切割氧化物陶瓷基片的方法,切断面平齐,提升切割质量和切割速度。
搜索关键词: 切割 氧化物陶瓷 低功率激光 激光切割器 多次重复 基片表面 切割轨迹 切断面 平齐 施力 断裂
【主权项】:
1.一种切割氧化物陶瓷基片的方法,其特征在于,包括如下步骤:待切割的氧化物陶瓷基片表面进行标记;将氧化物陶瓷基片固定在激光切割器中,采用低功率激光沿标记进行多次重复切割,直至切割深度达设定比例;对切割后的氧化物陶瓷基片施力,使氧化物陶瓷基片沿切割轨迹断裂完成切割。
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