[发明专利]一种空间光波导制备方法有效
| 申请号： | 201910629078.2 | 申请日： | 2019-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN110320599B | 公开（公告）日： | 2021-08-24 |
| 发明（设计）人： | 史强;唐强;李坤;周立海 | 申请（专利权）人： | 烟台魔技纳米科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/13 | 分类号： | G02B6/13;G02B6/12 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 丁曼曼 |
| 地址： | 264000 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种空间光波导制备方法，该方法包括：在待连接的通光口载体之间覆涂光刻胶，识别并设计连接路径，利用多次螺旋照射光刻胶制备的支撑结构和固化的支撑结构包裹的光刻胶组成的空间光波导，实现空间光波导的制备。本申请的空间光波导制备方法通过光刻胶对照射光能量的非线性吸收效果，促使光刻胶发生聚合、交联反应而固化，可突破衍射极限，实现加工的分辨率小于100纳米的任意三维形态的空间光波导的加工，因此可以实现空间光波导的三维形态与待连接的通光口尺寸匹配，降低了光波导耦合过程中的损耗，而螺旋加工的支撑结构提升了空间光波导的强度，实现了高质量的大间距器件互连。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 空间 波导 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种空间光波导制备方法，其特征在于，包括：在待连接的通光口载体之间覆涂光刻胶；识别通光口上任意光波导连接点；根据传输光信号传播模式、波长的不同设计连接路径；沿所述连接路径多次螺旋照射光刻胶，在连接路径外侧加工一层支撑结构；照射所述支撑结构包裹的光刻胶，所述支撑结构包裹的光刻胶固化，所述支撑结构和固化的支撑结构包裹的光刻胶组成空间光波导，以实现空间光波导的制备。
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