[发明专利]准分子激光器的窗片更换装置及方法在审
| 申请号： | 201910609220.7 | 申请日： | 2019-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN110535012A | 公开（公告）日： | 2019-12-03 |
| 发明（设计）人： | 沙鹏飞;杨军红;熊光亮;祝桂鹏;陈刚;李祖友;韩晓泉;宋兴亮;冯泽斌;刘斌;丁金滨;赵江山;胡馨月;辛茗 | 申请（专利权）人： | 北京科益虹源光电技术有限公司 |
| 主分类号： | H01S3/034 | 分类号： | H01S3/034 |
| 代理公司： | 44316 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 曹卫良<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 100000 北京市大兴区经济*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了准分子激光器的窗片更换装置及方法，窗片更换装置包括结构相同的第一窗片更换装置和第二窗片更换装置，第一窗片更换装置包括第一固定装置、第二固定装置、隔离装置，第一固定装置一端与放电腔固定连接，另一端与第二固定装置连接，第一固定装置和第二固定装置之间设置窗片，第一固定装置内还设置光路通道，隔离装置可移动的设置在第一固定装置内，使隔离装置、窗片及第一固定装置之间形成第一密封腔，窗片更换装置还包括连接两端更换装置的管路系统。本发明的窗片更换装置仅需要对布儒斯特窗周围的很小体积进行清洗，清洗气体消耗极少，而且更换窗片后不需要对放电腔进行钝化，减少了时间和成本。 | ||
| 搜索关键词： | 固定装置 更换装置 窗片 隔离装置 放电腔 准分子激光器 布儒斯特窗 管路系统 光路通道 清洗气体 更换窗 可移动 密封腔 钝化 清洗 消耗 | ||
【主权项】：
1.准分子激光器的窗片更换装置，其特征在于，包括两窗片更换装置及连接两窗片更换装置的管路系统，两窗片更换装置分别设置在所述准分子激光器的放电腔的两端，/n所述窗片更换装置包括第一固定装置、第二固定装置、隔离装置，所述第一固定装置一端与放电腔固定连接，另一端与第二固定装置连接，所述第一固定装置和第二固定装置之间设置窗片，且窗片固定在第二固定装置上；所述第一固定装置内设置光路通道，所述光路通道由放电腔开口延伸至窗片；/n所述隔离装置可移动的设置在第一固定装置内，用于阻隔光路通道，使所述隔离装置、窗片及第一固定装置之间形成第一密封腔；/n所述管路系统包括连通放电腔两端第一密封腔的管路，和设置在所述管路上的第一控制阀和压力传感器，所述第一控制阀连接真空装置和/或清洗装置。/n
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