[发明专利]一种基于图像拍摄及图像分析的探针轨迹监测及控制方法

摘要

本发明涉及一种基于图像拍摄及图像分析的探针轨迹监测及控制方法，属于信息技术领域。该方法基于探针测距装置实现，该测距装置包括激光器，可见光源，显微镜，探针，样品，样品位移台，运动控制系统及分析处理系统。所述方法具体包括：S1：将样品放置在样品位移台上；S2：可见光照射在探针针尖上，通过显微镜结合探测器实时获取针尖附近的场景，并传输到分析处理系统进行图像处理及特征提取，得到探针‑样品在图像尺度上的间距S；S3：通过图像尺度上的间距S与实际间距的关系式，计算得到探针‑样品的实际距离d。本发明通过拍摄图像和分析图像，准确得到探针与样品间距并通过控制系统调节其间距，最终实现探针运动轨迹监测与控制。

主权项

1.一种基于图像拍摄及图像分析的探针轨迹监测及控制方法，其特征在于，该方法具体包括以下步骤：S1：将样品(7)放置在样品位移台(8)上；S2：打开可见光源(4)照明探针(5)和样品(7)；S3：打开激光器(6)将激光照射到探针(5)末端和样品(7)表面；S4：通过显微镜(3)结合探测器(2)实时获取探针(5)末端附近的场景图像；S5：将图像传输到分析处理系统(1)进行图像处理及特征提取，得到探针‑样品在图像尺度上的间距S；S6：通过图像尺度上的间距S与实际间距的关系式，计算得到探针‑样品的实际距离d，并将其定为z方向上探针相对于样品的位置；S7：通过运动控制系统(9)控制样品位移台(8)或探针(5)运动，获得探针相对于样品在x和y方向的位置参数a和b；S8：通过分析处理系统(1)和运动控制系统(9)，根据得到a、b、d或调节a、b、d实现对探针运动轨迹的监测和控制。