[发明专利]一种检测纳机电系统谐振器振动特性的方法

摘要

本发明公开一种检测纳机电系统谐振器振动特性的方法，固定并放置单晶二维材料到真空腔室内，真空腔室抽真空；通过调节泵浦光和会聚电子探针脉冲入射单晶二维材料的延迟时间，成像探测系统监测单晶二维材料受激发后产生的菊池衍射图像，经过数据处理，获得单晶二维材料的线性纵向振动和非线性横向振动的振动频率、品质因数。本发明可得到单晶二维材料的线性纵向振动和非线性横向振动的振动频率和品质因数。

主权项

1.一种检测纳机电系统谐振器振动特性的方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1、将作为纳机电系统谐振器梁结构的单晶二维材料制备好放于铜网上；步骤2、将放有单晶二维材料的铜网装在样品架上，通过样品架将单晶二维材料传送到真空腔室内，真空腔室抽真空；步骤3、飞秒激光系统产生飞秒激光，飞秒激光经过分光镜分为两束，分别为第一束飞秒激光和第二束飞秒激光，第一束飞秒激光作为泵浦光经过光学延迟平台入射位于真空腔室内的单晶二维材料，第二束飞秒激光经过倍频仪后入射电子枪，电子枪输出会聚电子探针脉冲，会聚电子探针脉冲入射位于真空腔室内的单晶二维材料，通过调节光学延迟平台获得不同的延迟时间下的菊池衍射图像，成像探测系统监测单晶二维材料受激发后产生的菊池衍射图像；步骤4、将获得的菊池衍射图像进行晶面指数标定，可得到菊池衍射图像里菊池线所对应的晶面指数，通过晶面指数获得晶面的三维空间位置，根据菊池线获得一维衍射强度位置分布图，根据晶面在不同延迟时间下所对应的一维衍射强度位置分布图获得晶面的菊池线在不同延迟时间下的衍射强度位移随时间变化的振动曲线，根据晶面的菊池线在不同延迟时间下的衍射强度位移随时间变化的振动曲线得到晶面的倾斜角随延迟时间变化的振动曲线，对倾斜角随延迟时间变化的振动曲线经快速傅里叶变换，得到晶面的振动频率和品质因数；步骤5、将各晶面的振动频率和品质因数汇总，根据晶面的三维空间位置，得出单晶二维材料的线性纵向振动和非线性横向振动的振动频率、品质因数。