[发明专利]一种坩埚内材料质量的在线测量装置和方法在审
| 申请号： | 201910574200.0 | 申请日： | 2019-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN112146730A | 公开（公告）日： | 2020-12-29 |
| 发明（设计）人： | 李强;张明月;徐义 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | G01G7/02 | 分类号： | G01G7/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种坩埚内材料质量的在线测量装置和方法，包括：从内向外依次设置的坩埚、工艺层、隔离层和壳体，设于坩埚与工艺层上的滑动机构、设于坩埚底部的限位块，位于限位块下方的隔离机构、磁力部、位置传感器和测量机构。磁力部的电磁铁与永磁体之间产生相斥的磁力，推动坩埚及与其固定连接的部件向上滑动，在位置传感器检测到坩埚的位置改变时，坩埚及与其固定连接的部件、磁力部均受力平衡，获取弹簧形变量，则可确定坩埚及与其固定连接的部件的重力，从而可在线测量坩埚及其内部材料的质量，实现在不进行停机且不破坏密闭环境的情况下，在线监控蒸发源的材料剩余量，为设备生产计划和工艺调试提供数据依据，提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 坩埚 材料 质量 在线 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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