[发明专利]一种具备埃米级分辨力水平的石英电容式位移传感器在审
| 申请号： | 201910571285.7 | 申请日： | 2019-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN110440836A | 公开（公告）日： | 2019-11-12 |
| 发明（设计）人： | 吴畏;仇恺;谭志军;褚宁;王智奇;朱学毅 | 申请（专利权）人： | 中国船舶重工集团公司第七0七研究所 |
| 主分类号： | G01D5/241 | 分类号： | G01D5/241;G01B7/02 |
| 代理公司： | 天津盛理知识产权代理有限公司 12209 | 代理人： | 王雨晴 |
| 地址： | 300131 天*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种具备埃米级分辨力水平的石英电容式位移传感器，其技术特点在于：包括上定极板、动极板、下定极板、多个隔离垫片、上防贴环、下防贴环和连接部件；所述上定极板、动极板和下定极板均制有中心通孔，在上定极板下表面、下定极板上表面、动极板的上、下表面和外侧面均镀覆金膜；所述上定极板和下定极板相互平行重叠，在上定极板和下定极板之间等间距地布设有多个可拆卸隔离垫片，在隔离垫片内侧的上定极板和下定极板中间活动安装有动极板；在上定极板和下定极板的中心通孔上分别固装有尾部有翻边的圆筒形上防贴环和下防贴环；在上、下防贴环筒状通孔形成的空腔内穿装有连接部件。本发明可提高位移分辨能力并减小电容器非线性产生误差。 | ||
| 搜索关键词： | 定极板 极板 动极板 隔离垫片 电容式位移传感器 连接部件 中心通孔 下表面 石英 分辨 电容器 分辨能力 活动安装 技术特点 平行重叠 环筒状 可拆卸 上表面 外侧面 圆筒形 地布 镀覆 翻边 减小 金膜 空腔 通孔 | ||
【主权项】：
1.一种具备埃米级分辨力水平的石英电容式位移传感器，其特征在于：包括：上定极板、动极板、下定极板、多个隔离垫片、上防贴环、下防贴环和连接部件；所述上定极板、动极板和下定极板均制有中心通孔，在上定极板下表面、下定极板上表面、动极板的上、下表面和外侧面均镀覆金膜；所述上定极板和下定极板相互平行重叠，在上定极板和下定极板之间等间距地布设有多个可拆卸的隔离垫片，在隔离垫片内侧的上定极板和下定极板中间活动安装有动极板；在上定极板和下定极板的中心通孔上分别固装尾部有翻边的圆筒形上防贴环和下防贴环；在上、下防贴环筒状通孔形成的空腔内穿装有连接部件，该连接部件的上端与待测位移装置固定连接，下端固装在动极板中心通孔上。
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