[发明专利]一种高精度Z轴陀螺仪有效
| 申请号： | 201910565812.3 | 申请日： | 2019-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN110307833B | 公开（公告）日： | 2020-12-01 |
| 发明（设计）人： | 邹波;刘爽;郑青龙 | 申请（专利权）人： | 深迪半导体（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01C19/5656 | 分类号： | G01C19/5656;G01C19/5747 |
| 代理公司： | 上海剑秋知识产权代理有限公司 31382 | 代理人： | 杨飞 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区自由*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种高精度Z轴陀螺仪，其包括驱动质量块、耦合结构、科氏力质量块，并且限定了相互垂直的第一方向、第二方向和第三方向；所述驱动质量块被设置为可沿所述第一方向活动；所述驱动质量块与所述科氏力质量块通过具有弹性的结构相连接，以使所述科氏力质量块能够被所述驱动质量块带动沿所述第一方向活动并且在受到沿所述第二方向的科氏力作用下能够沿所述第二方向活动；所述耦合结构的两侧对称地连接有所述科氏力质量块，以使两侧的所述科氏力质量块在沿所述第一方向的运动时运动方向相反、幅度相等；所述耦合结构包括若干弹性件，所述若干弹性件沿所述第一方向和/或所述第二方向延伸。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高精度 陀螺仪 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS陀螺仪，其特征在于，包括驱动质量块、耦合结构、科氏力质量块，并且限定了相互垂直的第一方向、第二方向和第三方向；所述驱动质量块被设置为可沿所述第一方向活动；所述驱动质量块与所述科氏力质量块通过具有弹性的结构相连接，以使所述科氏力质量块能够被所述驱动质量块带动沿所述第一方向活动并且在受到沿所述第二方向的科氏力作用下能够沿所述第二方向活动；所述耦合结构的两侧对称地连接有所述科氏力质量块，以使两侧的所述科氏力质量块在沿所述第一方向的运动时运动方向相反、幅度相等；所述耦合结构包括若干弹性件，所述若干弹性件沿所述第一方向和/或所述第二方向延伸。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深迪半导体（上海）有限公司，未经深迪半导体（上海）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910565812.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
