[发明专利]一种烧结炉及钽电容的烧结方法

摘要

本申请实施例提供了一种烧结炉及钽电容的烧结方法，该烧结炉包括进气管路、气体循环泵、气体加热器、烧结腔、冷凝器和真空泵组。进气管路与气体循环泵的输入端连通；气体循环泵的输出端与气体加热器的输入端连通；气体加热器的输出端与烧结腔的进气口连通；烧结腔的出气口与冷凝器的输入端连通；冷凝器的输出端与气体循环泵的输入端连通；真空泵组与烧结腔连通。本申请通过将钽电容在同一位设备中完成了去除粘合剂的工艺过程与烧结工艺过程，从而避免了钽电容在不同工艺之间迁移带来的氧接触风险，降低了钽材料产生的氧杂质的含量，进而提高了钽电容的质量和良品率以及由于无需在单独进行两个工艺流程，从而省掉迁移时间，进而提高了生产效率。

主权项

1.一种烧结炉，其特征在于，包括：进气管路、气体循环泵、气体加热器、烧结腔、冷凝器和真空泵组；所述进气管路与所述气体循环泵的输入端连通；所述进气管路用于充入气体至所述气体循环泵，以通过所述气体循环泵将所述气体输入所述气体加热器；所述气体循环泵的输出端与所述气体加热器的输入端连通；所述气体循环泵用于在开启时，将加热后的气体通入到所述烧结腔并流经位于所述烧结腔内的钽电容表面，以通过高温气体带走所述钽电容内的粘合剂后流入所述冷凝器；所述气体加热器的输出端与所述烧结腔的进气口连通；所述气体加热器用于对进入的所述气体进行加热，并将加热后的所述气体输入所述烧结腔；所述烧结腔的出气口与所述冷凝器的输入端连通；所述烧结腔中盛放有携带有粘合剂的钽电容，所述烧结腔用于对除去所述粘合剂后的钽电容进行真空高温烧结；所述冷凝器的输出端与所述气体循环泵的输入端连通；所述冷凝器用于将所述气体所携带的所述粘合剂冷凝在所述冷凝器中，并将冷却后的气体输出至所述气体循环泵，进行气体循环以及还用于在所述烧结炉完成烧结后对所述烧结腔流出的高温气体进行降温冷却；所述真空泵组与所述烧结腔连通；所述真空泵组用于对所述烧结腔进行抽真空。