[发明专利]一种烧结炉及钽电容的烧结方法

权利要求书

1.一种烧结炉，其特征在于，包括：进气管路、气体循环泵、气体加热器、烧结腔、冷凝器和真空泵组；

所述进气管路与所述气体循环泵的输入端连通；所述进气管路用于充入气体至所述气体循环泵，以通过所述气体循环泵将所述气体输入所述气体加热器；

所述气体循环泵的输出端与所述气体加热器的输入端连通；所述气体循环泵用于在开启时，将加热后的气体通入到所述烧结腔并流经位于所述烧结腔内的钽电容表面，以通过高温气体带走所述钽电容内的粘合剂后流入所述冷凝器；

所述气体加热器的输出端与所述烧结腔的进气口连通；所述气体加热器用于对进入的所述气体进行加热，并将加热后的所述气体输入所述烧结腔；

所述烧结腔的出气口与所述冷凝器的输入端连通；所述烧结腔中盛放有携带有粘合剂的钽电容，所述烧结腔用于对除去所述粘合剂后的钽电容进行真空高温烧结；

所述冷凝器的输出端与所述气体循环泵的输入端连通；所述冷凝器用于将所述气体所携带的所述粘合剂冷凝在所述冷凝器中，并将冷却后的气体输出至所述气体循环泵，进行气体循环以及还用于在所述烧结炉完成烧结后对所述烧结腔流出的高温气体进行降温冷却；

所述真空泵组与所述烧结腔连通；所述真空泵组用于对所述烧结腔进行抽真空。

2.根据权利要求1所述的烧结炉，其特征在于，还包括出气管路和第一阀门，所述出气管路的输入端与所述第一阀门的输出端连通，所述第一阀门的输入端分别与所述冷凝器和所述气体循环泵连通。

3.根据权利要求1所述的烧结炉，其特征在于，所述进气管路包括第一进气管、第二进气管和第二阀门，所述第一进气管和所述第二进气管均与所述第二阀门的输入端连通；所述第二阀门的输出端分别与所述冷凝器和所述气体循环泵连通；

所述第一进气管用于与空气气源连接；

所述第二进气管用于与氩气气源连接。

4.根据权利要求1所述的烧结炉，其特征在于，所述烧结腔内设有电容器托盘；

所述电容器托盘用于盛放所述钽电容。

5.根据权利要求4所述的烧结炉，其特征在于，所述烧结腔内还设有烧结加热器；

所述烧结加热器设置在所述电容器托盘边缘；

所述烧结加热器用于对置于所述电容器托盘上的所述钽电容进行加热。

6.根据权利要求5所述的烧结炉，其特征在于，所述烧结腔内还设有保温层。

7.根据权利要求1所述的烧结炉，其特征在于，还包括安全阀，所述安全阀与所述烧结腔连通，用于在所述烧结腔内的气压超过预设阀值时，排出所述烧结腔内的气体。

8.根据权利要求1所述的烧结炉，其特征在于，所述冷凝器上还设有第三阀门；

所述第三阀门用于在开启时对所述冷凝器中的固液态凝结物进行清理。

9.根据权利要求1所述的烧结炉，其特征在于，所述真空泵组包括第一真空泵、第二真空泵和第三真空泵；

所述第一真空泵的输出端与所述第二真空泵的输入端连通，所述第二真空泵的输出端与所述第三真空泵的输入端连通；所述第三真空泵的输出端与所述烧结腔连通。

10.一种钽电容的烧结方法，其特征在于，所述方法应用于如权利要求1-9任意一项所述的烧结炉，所述方法包括：

将压制好的含粘合剂的钽电容放置在烧结腔中；

对所述烧结腔抽真空后再通入气体；

开启所述气体加热器，将进入所述气体加热器中的所述气体加热到第一预设温度范围；

开启所述气体循环泵，将加热后的所述气体通入到所述烧结腔并流经所述钽电容表面，以通过高温气体带走所述钽电容内的粘合剂后流入所述冷凝器；

对所述烧结腔再次抽真空；

对再次抽真空的所述烧结腔内的所述钽电容进行加热，以完成对所述钽电容的烧结。