[发明专利]一种晶圆级的磁传感器及电子设备有效
| 申请号： | 201910557220.7 | 申请日： | 2019-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN110345938B | 公开（公告）日： | 2021-08-31 |
| 发明（设计）人： | 邹泉波 | 申请（专利权）人： | 潍坊歌尔微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01C21/08 | 分类号： | G01C21/08;H01L27/22 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 | 代理人： | 王昭智 |
| 地址： | 261061 山东省潍坊市高新区新城*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明一种晶圆级的磁传感器及电子设备，包括承载部以及设置在承载部上的至少一个第一磁阻、至少一个第二磁阻；其中，第二磁阻的阻值被配置为在工作磁场的感应下发生变化；在第一磁阻的上方还设置有金属导线；金属导线被配置为通入电流产生作用在第一磁阻上的补偿磁场，第一磁阻在补偿磁场和工作磁场中处于其检测饱和区。根据本公开的一个实施例，这种结构不但制作工艺简单，成本低廉，而且可以在晶圆级的制造中批量化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆级 传感器 电子设备 | ||
【主权项】：
1.一种晶圆级的磁传感器，其特征在于：包括承载部以及设置在承载部上的至少一个第一磁阻、至少一个第二磁阻；其中，所述第二磁阻的阻值被配置为在工作磁场的感应下发生变化；在所述第一磁阻的上方还设置有金属导线；所述金属导线被配置为通入电流产生作用在第一磁阻上的补偿磁场，所述第一磁阻在补偿磁场和工作磁场中处于其检测饱和区。
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