[发明专利]一种基于红外吸收涂层的红外探测器及其制备方法在审
| 申请号： | 201910551809.6 | 申请日： | 2019-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN110196104A | 公开（公告）日： | 2019-09-03 |
| 发明（设计）人： | 侯海港;黄清伟 | 申请（专利权）人： | 镇江爱豪科思电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01J5/12 | 分类号： | G01J5/12;G02B5/22;H01L35/32 |
| 代理公司： | 北京德崇智捷知识产权代理有限公司 11467 | 代理人： | 陈佳佳 |
| 地址： | 212009 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于红外吸收涂层的红外探测器及其制备方法。红外探测器第一部分为光学吸收部分，包括第一吸收涂层；第二部分为热电部分，包括第一SiO2层，第二Al层，第三SiO2层以及第四N型多晶硅层。第三部分为支撑层部分，包括SiO2层。将制备出的基于纳米碳附载珊瑚状结构的吸收涂层，引入到非制冷热电堆红外探测器上，光线在这种纳米碳附载珊瑚状结构中多次反射与折射，形成具有宽光谱吸收、高吸收率等红外吸收特性。第二热电部分，第二Al层为热电偶，同时也作为中心吸收区域的一部分构成反射层，形成光线干涉，增强涂层的吸收，在3‑14μm波段的平均红外吸收率高达90％以上，提高探测器响应率及探测率。 | ||
| 搜索关键词： | 红外探测器 制备 红外吸收涂层 吸收涂层 纳米碳 珊瑚状 热电 热电堆红外探测器 红外吸收特性 中心吸收区域 红外吸收率 探测器响应 多次反射 高吸收率 光线干涉 光学吸收 反射层 非制冷 宽光谱 热电偶 探测率 支撑层 波段 吸收 折射 引入 | ||
【主权项】：
1.一种基于红外吸收涂层的红外探测器，其特征在于，自上至下分为三大部分；第一部分为光学吸收部分，包括第一吸收涂层；第二部分为热电部分，包括第一SiO2层，第二Al层，第三SiO2层以及第四N型多晶硅层；第三部分为支撑层部分，包括SiO2层。
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