[发明专利]真空高低温半导体器件测试探针台及半导体器件测试方法在审
| 申请号： | 201910551107.8 | 申请日： | 2019-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN110412441A | 公开（公告）日： | 2019-11-05 |
| 发明（设计）人： | 刘世文;范玉祥 | 申请（专利权）人： | 深圳市森美协尔科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01R1/04;G01R1/067;G01R1/18 |
| 代理公司： | 上海波拓知识产权代理有限公司 31264 | 代理人： | 周志中 |
| 地址： | 518100 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种真空高低温半导体器件测试探针台，包括真空腔、防辐射屏、样品台、探针臂；真空腔用于形成密封测试环境；所述防辐射屏用于阻挡外界对样品台的辐射，位于所述真空腔中；所述样品台用于放置样品，位于所述防辐射屏中；所述探针臂包括探针针杆以及位于所述探针针杆末端的探针，所述探针针杆穿过所述真空腔、防辐射屏，使所述探针伸入样品所在位置以进行点针。本发明还公开一种半导体器件测试方法，使用如上所述的真空高低温半导体器件测试探针台。本发明提供的半导体器件测试探针台及半导体器件测试方法，通过设置真空腔、防辐射屏等结构，能够有效的营造一个集成高温、低温、真空等测试环境，能够为生产出来的半导体器件提供稳定的测试环境。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体器件测试 防辐射屏 真空腔 探针台 高低温 探针针 样品台 测试环境 探针臂 探针 半导体器件 密封测试 伸入 穿过 阻挡 辐射 生产 | ||
【主权项】：
1.一种真空高低温半导体器件测试探针台，其特征在于，包括真空腔、防辐射屏、样品台、探针臂；真空腔用于形成密封测试环境；所述防辐射屏用于阻挡外界对样品台的辐射，位于所述真空腔中；所述样品台用于放置样品，位于所述防辐射屏中；所述探针臂包括探针针杆以及位于所述探针针杆末端的探针，所述探针针杆穿过所述真空腔、防辐射屏，使所述探针伸入样品所在位置以进行点针。
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