[发明专利]一种全自动晶圆探针台及全自动晶圆测试设备在审
| 申请号： | 201910551106.3 | 申请日： | 2019-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN110412440A | 公开（公告）日： | 2019-11-05 |
| 发明（设计）人： | 刘世文;江有清 | 申请（专利权）人： | 深圳市森美协尔科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01R1/02;G01R1/04;G01R1/067 |
| 代理公司： | 上海波拓知识产权代理有限公司 31264 | 代理人： | 周志中 |
| 地址： | 518100 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种用于晶圆测试的全自动晶圆探针台，包括承片台、位于所述承片台下方的竖直运动部件和位于竖直运动部件底部的固定座。所述承片台包括底板、多块堆叠于所述底板上表面的垫板和固定于底板的定位部件，所述定位部件用于控制所述承片台沿固定轴线竖直运动。本发明通过多重加固的稳定结构保证晶圆测试过程中的运动稳定性和精密度。 | ||
| 搜索关键词： | 竖直运动 承片台 底板 定位部件 晶圆测试 探针台 晶圆 全自动晶圆测试设备 底板上表面 运动稳定性 固定轴线 稳定结构 固定座 承片 垫板 堆叠 多块 保证 | ||
【主权项】：
1.一种全自动晶圆探针台，用于晶圆测试，其特征在于，所述全自动晶圆探针台包括承片台、位于所述承片台下方使所述承片台竖直运动的竖直运动部件和位于竖直运动部件下方的固定座；所述承片台包括底板、多块堆叠于所述底板上表面的垫板和固定于底板的定位部件，所述定位部件与所述固定座配合，用于控制所述承片台沿固定轴线竖直运动。
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