[发明专利]一种探针台及半自动晶圆测试设备在审
| 申请号： | 201910551072.8 | 申请日： | 2019-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN110412439A | 公开（公告）日： | 2019-11-05 |
| 发明（设计）人： | 刘世文;刘艺 | 申请（专利权）人： | 深圳市森美协尔科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01R1/02;G01R1/04;G01R1/067 |
| 代理公司： | 上海波拓知识产权代理有限公司 31264 | 代理人： | 周志中 |
| 地址： | 518100 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种用于晶圆测试的探针台，包括第一运动机构、第二运动机构和第三运动机构，所述第一运动机构、第二运动机构和第三运动机构的底面积依次递减，并依序向上堆叠。所述探针台通过所述第一运动机构、第二运动机构和第三运动机构控制所述晶圆沿第一方向、第二方向和第三方向往复运动及以所述第三方向为轴线旋转运动。本发明还公开了一种半自动晶圆测试设备，包括所述的探针台和位于其上方的显微镜，所述显微镜同时提供三种倍率成像，用以兼容6寸、8寸和12寸晶圆的测试。本发明采用低重心、真空干燥密封结构和多类型晶圆兼容的设计，使产品具有高精度和高稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 运动机构 探针台 晶圆测试 晶圆 显微镜 兼容 运动机构控制 轴线旋转运动 高稳定性 密封结构 依次递减 低重心 多类型 堆叠 成像 测试 | ||
【主权项】：
1.一种探针台，用于晶圆测试，其特征在于，所述探针台包括第一运动机构、第二运动机构和第三运动机构，所述第一运动机构、第二运动机构和第三运动机构的底面积依次递减，并依序向上堆叠；所述探针台通过所述第一运动机构、第二运动机构和第三运动机构控制所述晶圆沿第一方向、第二方向和第三方向往复运动及以所述第三方向为轴线旋转运动。
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