[发明专利]一种匀化直写太阳能电池电极的装置有效

专利信息
申请号: 201910550176.7 申请日: 2019-06-24
公开(公告)号: CN110233181B 公开(公告)日: 2021-06-25
发明(设计)人: 王大志;王强;李经国;梁军生 申请(专利权)人: 大连理工大学
主分类号: H01L31/0224 分类号: H01L31/0224
代理公司: 北京睿智保诚专利代理事务所(普通合伙) 11732 代理人: 周新楣
地址: 116024 辽*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要: 一种匀化直写太阳能电池电极的装置,属于先进制造技术领域。包括压力供给模块、喷头模块、运动控制模块以视觉模块。压力供给模块包括注射泵和电极浆料喷腔;喷头模块包括过渡槽、位于过渡槽下端的匀化装置及附属驱动夹持装置;运动控制模块包括X‑Y运动平台、Z位移轴及其控制装置;视觉模块包括工业摄像机、上位机以及附属照明装置。本发明采用直写成形的方式制备太阳能电池电极,可以制备线宽50μm以下、高宽比0.5以上、形貌均匀性好的电极结构,有利于提高太阳能电池的光电转化效率;同时,其非接触式的成形工艺,减少电极浆料和硅材料消耗,有利于降低太阳能电池制造成本;对电极浆料进行实时搅拌,能避免喷孔堵塞,保障电极成形过程的稳定进行。
搜索关键词: 一种 匀化直写 太阳能电池 电极 装置
【主权项】:
1.一种匀化直写太阳能电池电极的装置,其特征在于,所述的装置基于直写成形技术制备太阳能电池电极,能够形成线宽5‑50μm,高宽比0.5‑1.0、形貌均匀一致的太阳能电池电极结构;该装置包括压力供给模块、喷头模块、运动控制模块以及视觉模块四部分;所述的压力供给模块包括注射泵(2)和电极浆料喷腔(3),电极浆料喷腔(3)内为电极浆料(4);所述的注射泵(2)垂直安装于Z位移轴(1)上;所述的电极浆料喷腔(3)尾部设有压力活塞杆,压力活塞杆顶部与注射泵(2)接触,底部与电极浆料(4)上表面接触;电极浆料喷腔(3)头部为与喷头模块(5)连接的螺纹结构;注射泵(2)的推力通过压力活塞杆作用于喷腔内的电极浆料(4),实现压力供给和流量控制;电极浆料(4)受压力从喷头模块(5)喷孔处挤出时,可直接形成微米级的粘弹性线状浆料(6);所述的电极浆料(4)为固含量70‑95wt%、粘度150‑500Pa·s的金属基导电浆料;所述的喷头模块(5)包括过渡槽(11)、匀化装置(12)、附属驱动夹持装置;所述的过渡槽(11)为透明塑料材质,上端与电极浆料喷腔(3)紧密连接,下端加工有一个或多个特征尺寸为10‑50μm的喷孔,用于将电极浆料(4)过渡成为特征尺寸10‑50μm的粘弹性线状浆料(6);所述的匀化装置(12)为机械搅拌、磁力搅拌或超声分散装置,置于过渡槽(11)下端,用于对喷孔附近的电极浆料(4)进行匀化分散,使进入喷孔的电极浆料(4)成分保持均匀稳定;所述的运动控制模块包括X‑Y运动平台(8)、Z位移轴(1)及其控制装置;所述的X‑Y运动平台(8)承载固定太阳能电池硅基底(7),实现喷头模块(5)和太阳能电池硅基底(7)的水平图形化相对运动;所述的Z位移轴(1)承载压力供给模块和喷头模块(5),实现喷头模块(5)和太阳能电池硅基底(7)的纵向间距调节;所述的视觉模块包括工业摄像机(9)、上位机(10)以及附属照明装置;所述的工业摄像机(9)对准喷头模块(5)和太阳能电池硅基底(7),实时监测直写成形过程;所述的上位机(10)用于显示、记录工业摄像机(9)的观测图像的同时,控制X‑Y运动平台(8)和Z位移轴(1)的运动。
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