[发明专利]一种等离子体源及等离子体的产生方法在审
| 申请号： | 201910546218.X | 申请日： | 2019-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN110392477A | 公开（公告）日： | 2019-10-29 |
| 发明（设计）人： | 黄邦斗;章程;叶成园;邵涛 | 申请（专利权）人： | 中国科学院电工研究所 |
| 主分类号： | H05H1/30 | 分类号： | H05H1/30 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 张琳琳 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及等离子应用技术领域，具体涉及一种等离子体源及等离子体的产生方法。包括：第一电源，通过设置在射流管上的电极与所述射流管连接；所述射流管，靠近所述电极的一端设置有进气口，远离所述电极的一端设置有出气口；第二电源，与所述射流管连接，用于向所述射流管提供电压。利用在射流管上设置电极，电极与第一电源连接，通过第一电源产生微弱的等离子流射，在使用第二电源与连接射流管，第一电源和第二电源产生耦合现象，从而对等离子流射进行补偿，使射流管内的等离子流射能够通过调节第二电源产生稳定持续的等离子射流。 | ||
| 搜索关键词： | 射流管 电极 等离子流 电源产生 电源 等离子体 等离子体源 一端设置 进气口 应用技术领域 等离子射流 电源连接 耦合现象 等离子 出气口 | ||
【主权项】：
1.一种等离子体源，其特征在于，包括：第一电源，通过设置在射流管上的电极与所述射流管连接；所述射流管，靠近所述电极的一端设置有进气口，远离所述电极的一端设置有出气口；第二电源，与所述射流管连接，用于向所述射流管提供电压。
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