[发明专利]基于AlN压电薄膜的无线无源声表面波高温应变传感器在审
| 申请号： | 201910544793.6 | 申请日： | 2019-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN110307811A | 公开（公告）日： | 2019-10-08 |
| 发明（设计）人： | 王文;范淑瑶;李学玲;贾雅娜;梁勇 | 申请（专利权）人： | 中国科学院声学研究所 |
| 主分类号： | G01B17/04 | 分类号： | G01B17/04;G01S13/88 |
| 代理公司： | 北京金智普华知识产权代理有限公司 11401 | 代理人： | 皋吉甫 |
| 地址： | 100080 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种基于AlN压电薄膜的无线无源声表面波高温应变传感器，涉及应变传感器技术领域，采用多层复合结构的单端对谐振器，并通过高温应变传感芯片与温度补偿芯片的频率差分计算，能够消除温度引起的干扰，实现温度补偿，在高温环境下实现无线无源测量；该传感器包括高温应变传感芯片、温度补偿芯片和传感器管座；所述高温应变传感芯片和所述温度补偿芯片设置在所述传感器管座上；所述高温应变传感芯片的SAW传播方向平行于所述传感器管座的长度方向；所述温度补偿芯片的SAW传播方向垂直于所述高温应变传感芯片的SAW传播方向。本发明提供的技术方案适用于高温环境应变传感器应用的过程中。 | ||
| 搜索关键词： | 传感芯片 温度补偿芯片 应变传感器 传播方向 传感器管 无线无源 高温环境 声表面波 压电薄膜 单端对谐振器 多层复合结构 温度补偿 温度引起 频率差 传感器 平行 测量 垂直 应用 | ||
【主权项】：
1.一种基于AlN压电薄膜的无线无源声表面波高温应变传感器，其特征在于，所述传感器包括高温应变传感芯片、温度补偿芯片和传感器管座；所述高温应变传感芯片和所述温度补偿芯片设置在所述传感器管座上；所述高温应变传感芯片的SAW传播方向平行于所述传感器管座的长度方向；所述温度补偿芯片的SAW传播方向垂直于所述高温应变传感芯片的SAW传播方向。
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