[发明专利]一种检测设备有效
申请号: | 201910543917.9 | 申请日: | 2019-06-21 |
公开(公告)号: | CN110208286B | 公开(公告)日: | 2020-08-28 |
发明(设计)人: | 马骏;马生林;张鹏远 | 申请(专利权)人: | 上海精测半导体技术有限公司 |
主分类号: | G01N21/95 | 分类号: | G01N21/95 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 孟金喆 |
地址: | 201703 上海市青浦区赵巷*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明实施例公开了一种检测设备,检测设备包括:初扫组件、传动组件、复检组件和控制器;初扫组件承载并初扫描待检测面板以获取探测信号,并将探测信号传输至控制器,传动组件提取初扫组件扫描完成的待检测面板并传送给复检组件,复检组件承载待检测面板并根据控制器传输的复检信号对待检测面板进行复检扫描以获得待检测面板的缺陷图像;控制器用于根据探测信号分析得出待检测面板的异常信号点并将异常信号点对应的位置标记为待检测面板的缺陷位置,控制传动组件传动待检测面板,还用于将复检信号传输至复检组件以使复检组件对待检测面板的缺陷位置进行复检扫描,复检信号包括待检测面板的缺陷位置信息。本发明实施例,提高了检测效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 检测 设备 | ||
【主权项】:
1.一种检测设备,其特征在于,所述检测设备用于对至少一个待检测面板进行检测,所述检测设备包括:初扫组件、传动组件、复检组件和控制器;所述初扫组件用于承载并初扫描所述待检测面板以获取探测信号,并将所述探测信号传输至所述控制器,所述传动组件用于提取所述初扫组件扫描完成的所述待检测面板并传送给所述复检组件,所述复检组件用于承载所述待检测面板并根据所述控制器传输的复检信号对所述待检测面板进行复检扫描以获得所述待检测面板的缺陷图像;所述控制器分别与所述初扫组件、所述传动组件和所述复检组件电连接,用于根据所述探测信号分析得出所述待检测面板的异常信号点并将所述异常信号点对应的位置标记为所述待检测面板的缺陷位置,控制所述传动组件传动所述待检测面板,还用于将所述复检信号传输至所述复检组件以使所述复检组件对所述待检测面板的缺陷位置进行复检扫描,所述复检信号包括所述待检测面板的缺陷位置信息。
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