[发明专利]考虑温度影响的砷化镓光子晶体压力传感器有效
| 申请号： | 201910542448.9 | 申请日： | 2019-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN112113691B | 公开（公告）日： | 2022-01-25 |
| 发明（设计）人： | 夏雨;陈德媛;陈兵 | 申请（专利权）人： | 南京邮电大学 |
| 主分类号： | G01L1/24 | 分类号： | G01L1/24;G01L11/02;G01L19/04;G01B11/16 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 许婉静 |
| 地址： | 210023 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种考虑温度影响的砷化镓光子晶体压力传感器，引入了结构型点缺陷和线缺陷，结构中包括光子晶体波导和光子晶体谐振腔。传感器结构以空气为背景材料，砷化镓材料作为介质柱，包含三分支波导，一个输入波导和一个输出波导。端口通过监控器检测电磁波透射情况，根据检测到的谐振波长变化与压力的线性关系检测所施加的压力值。本发明具有很高灵敏度和高品质因子、去除了温度响应测得压力值较真实等优良特性，且二维光子晶体与现代集成制备工艺亦兼容易于制造。高灵敏度和高响应速度使其在工程应变探测等领域有较高的应用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 考虑 温度 影响 砷化镓 光子 晶体 压力传感器 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南京邮电大学，未经南京邮电大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910542448.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
