[发明专利]一种生长第二代高温超导带材阻挡层复合膜的镀膜方法有效
| 申请号： | 201910538056.5 | 申请日： | 2019-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN110205602B | 公开（公告）日： | 2021-10-19 |
| 发明（设计）人： | 程春生;朱佳敏;高中赫;曹森;刘杰;姚林朋;赵跃 | 申请（专利权）人： | 上海超导科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/35;C23C14/16;H01B12/06 |
| 代理公司： | 上海段和段律师事务所 31334 | 代理人： | 李佳俊;郭国中 |
| 地址： | 201207 上海市浦东新区自由*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种生长第二代高温超导带材阻挡层复合膜的镀膜方法，包括如下步骤：S1、将基带安装在驱动系统上，调节镀膜环境的真空度；S2、开启驱动系统，进行正向走带；开启阴极系统，经洗靶、镀膜后制得第一阻挡层，结束后关闭阴极系统和驱动系统；S3、开启驱动系统，进行反向走带；开启阴极系统，经洗靶、镀膜后制得第二阻挡层，结束后关闭阴极系统和驱动系统。本发明有效降低了系统摩擦力，提高了带材镀膜面积、提高了生产效率、降低了带材制造成本；同时通过往复运动实现复合膜层制备减少了抽空时间；一个腔体实现两种材料制备，极大减少了设备占地。从而更加适合于大规模工业化生产第二代高温超导带材阻挡层复合膜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 生长 第二代 高温 超导 阻挡 复合 镀膜 方法 | ||
【主权项】：
1.一种生长第二代高温超导带材阻挡层复合膜的镀膜方法，其特征在于，包括如下步骤：S1、将基带安装在驱动系统上，调节镀膜环境的真空度；S2、开启驱动系统，进行正向走带；开启阴极系统，经洗靶、镀膜后制得第一阻挡层，结束后关闭阴极系统和驱动系统；S3、开启驱动系统，进行反向走带；开启阴极系统，经洗靶、镀膜后制得第二阻挡层，结束后关闭阴极系统和驱动系统。
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