[发明专利]一种精确监控并改善方块电阻量测稳定性的方法

摘要

本发明提供一种精确监控并改善方块电阻量测稳定性的方法，包括：将晶圆置于RS机台的量测卡盘上；在晶圆表面上取四点并量测其JPV信号；提供JPV信号与晶圆表面量测位置曲线关系，将得到的四点的JPV信号代入曲线关系，得出该四点对应的坐标值；利用得到的所述四点的坐标值计算出晶圆位置的偏移量；若该偏移量超出标准偏移量的范围，则在量测卡盘上重置晶圆；若该偏移量在标准偏移量范围内，则对RS实际测试值作矫正。本发明通过建立JPV信号与位置的相关曲线数据库，每次量测前先量测与晶圆边缘距离相同的四个位置的JPV信号，算出晶圆圆心与原点的偏移量，对晶圆位置偏离做修正，得到该位置的真实RS值，从而达到监测并提高RS量测稳定性。

主权项

1.一种精确监控并改善方块电阻量测稳定性的方法，其特征在于，该方法至少包括以下步骤：步骤一、将晶圆置于RS机台的量测卡盘上；步骤二、在所述晶圆表面上取四点，分别量测其JPV信号；步骤三、提供所述JPV信号与所述晶圆表面量测位置曲线关系，将步骤二中得到的所述四个点的JPV信号代入所述曲线关系，分别得出该四个点对应的坐标值；步骤四、利用步骤三中得到的所述四个点的坐标值，计算出该晶圆位置的偏移量；步骤五、提供标准偏移量，若步骤四中得到的晶圆位置的偏移量超出所述标准偏移量的范围，则在所述量测卡盘上重置该晶圆；若步骤四中得到的晶圆位置的偏移量在所述标准偏移量的范围内，则按照该偏移量对方块电阻的RS实际测试值作矫正。