[发明专利]一种多晶硅冶炼用熔融石英/氮化硅复合陶瓷坩埚及其制备方法在审
| 申请号： | 201910522328.2 | 申请日： | 2019-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN110330322A | 公开（公告）日： | 2019-10-15 |
| 发明（设计）人： | 王庆虎;刘俊;李亚伟;桑绍柏;徐义彪;朱天彬;廖宁 | 申请（专利权）人： | 武汉科技大学 |
| 主分类号： | C04B35/14 | 分类号： | C04B35/14;C04B35/584;C04B35/626;C04B35/63;C04B35/632;C04B35/634;C04B35/66 |
| 代理公司： | 武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 42222 | 代理人： | 张火春 |
| 地址： | 430081 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种多晶硅冶炼用熔融石英/氮化硅复合陶瓷坩埚及其制备方法。其技术方案是：将熔融石英粉体、表面改性剂和去离子水混合，水浴条件下搅拌，干燥，研磨，得到改性熔融石英粉体。将氮化硅粉体、表面改性剂和去离子水混合，水浴条件下搅拌，干燥，研磨，得到改性氮化硅粉体。将丙烯酰胺、N,N’‑亚甲基双丙烯酰胺和去离子水混合，制得预混液。将改性熔融石英粉体、改性氮化硅粉体、丙烯酸与2‑丙烯酰胺‑2‑甲基丙磺酸共聚物、过硫酸铵和预混液混合，注入模具，凝胶固化，脱模，烘干，在空气或惰性气氛下烧成，制得多晶硅冶炼用熔融石英/氮化硅复合陶瓷坩埚。本发明工艺过程易于控制，所制制品的组织结构均一、致密度高和良品率高。 | ||
| 搜索关键词： | 改性 氮化硅复合陶瓷 氮化硅粉体 多晶硅冶炼 熔融石英粉 去离子水 熔融石英 坩埚 表面改性剂 丙烯酰胺 水浴条件 研磨 预混液 制备 亚甲基双丙烯酰胺 丙烯酸 甲基丙磺酸 工艺过程 过硫酸铵 凝胶固化 组织结构 共聚物 良品率 烘干 均一 烧成 脱模 模具 | ||
【主权项】：
1.一种多晶硅冶炼用熔融石英/氮化硅复合陶瓷坩埚的制备方法，其特征在于所述制备方法的步骤是：步骤一、将100质量份的熔融石英粉体、0.5～5质量份的表面改性剂和45～200质量份的去离子水混合，得到悬浮体溶液I；然后将所述悬浮体溶液I在70～90℃水浴条件下搅拌2～6h，干燥，研磨，得到改性熔融石英粉体；步骤二、将100质量份的氮化硅粉体、0.5～5质量份的表面改性剂和45～200质量份的去离子水混合，得到悬浮体溶液II；然后将所述悬浮体溶液II在70～90℃水浴条件下搅拌2～6h，干燥，研磨，得到改性氮化硅粉体；步骤三、按照丙烯酰胺∶N,N’‑亚甲基双丙烯酰胺∶去离子水的质量比为15～70∶1∶100～1200配料，混合，得到预混液；步骤四、将50～95质量份的所述改性熔融石英粉体、5～50质量份的所述改性氮化硅粉体、0.3～1质量份的丙烯酸与2‑丙烯酰胺‑2‑甲基丙磺酸共聚物、0.02～0.24质量份的过硫酸铵和15～60质量份的所述预混液在球磨罐中混合16～24h，制得陶瓷料浆；步骤五、将所述陶瓷料浆注入橡胶模具或塑料模具中，加热至30～50℃，保温5～20min，凝胶固化，脱模，制得复合陶瓷坯体；步骤六、将所述复合陶瓷坯体于110℃条件下烘干，然后在空气或惰性气氛下，于1100～1300℃条件下保温2～10h，制得多晶硅冶炼用熔融石英/氮化硅复合陶瓷坩埚。
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