[发明专利]由积层制造工艺所生产的研磨垫有效

专利信息
申请号: 201910522266.5 申请日: 2015-10-16
公开(公告)号: CN110142688B 公开(公告)日: 2021-05-25
发明(设计)人: R·巴贾杰;D·莱德菲尔德;M·C·奥里拉利;B·福;A·J·康纳;J·G·方;M·科尔内霍;A·乔卡里汉;M·F·雅玛木拉;R·卡基雷迪;A·库马;V·哈里哈兰;G·E·蒙柯;F·C·雷德克;N·B·帕蒂班德拉;H·T·恩古;R·达文波特;A·辛哈 申请(专利权)人: 应用材料公司
主分类号: B24B37/22 分类号: B24B37/22;B24B37/24;B24D18/00
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人: 杨学春
地址: 美国加利*** 国省代码: 暂无信息
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 本公开的实施例是关于具有可调谐化学特性、材料特性及结构特性的高级研磨垫,及制造所述研磨垫的新方法。根据本公开的一或多个实施例,已发现具有改善特性的研磨垫可由诸如三维(3D)打印工艺的积层制造工艺来产生。因此,本公开的实施例可提供具有离散特征及几何形状、由至少两种不同材料形成的高级研磨垫,所述不同材料包括官能性聚合物、官能性寡聚物、反应性稀释剂及固化剂。举例而言,该高级研磨垫可通过自动化依序沉积至少一种树脂前体组成物,随后以至少一个固化步骤而由多个聚合物层形成,其中各层可表示至少一种聚合物组成物和/或不同组成物的区域。
搜索关键词: 制造 工艺 生产 研磨
【主权项】:
1.一种形成研磨物件的方法,包括:将第一液体的多个第一滴施配在研磨主体的一部分的表面上,其中所述表面包括通过至少部分地固化一定量的所述第一液体而形成的第一材料;将所述多个第一滴暴露于电磁辐射以形成多个部分固化的第一滴,所述多个部分固化的第一滴相对于所述第一材料的所述表面具有50度或更大的接触角;将第二液体的多个第二滴施配在所述研磨主体的所述一部分的所述表面上,其中所述多个第二滴定位成与所述第一滴的一个或多个相邻;以及将所述多个第二滴暴露于电磁辐射以形成多个部分固化的第二滴,其中将所述多个第一滴暴露于电磁辐射与将所述多个第二滴暴露于电磁辐射重叠。
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