[发明专利]由积层制造工艺所生产的研磨垫有效

专利信息
申请号: 201910522266.5 申请日: 2015-10-16
公开(公告)号: CN110142688B 公开(公告)日: 2021-05-25
发明(设计)人: R·巴贾杰;D·莱德菲尔德;M·C·奥里拉利;B·福;A·J·康纳;J·G·方;M·科尔内霍;A·乔卡里汉;M·F·雅玛木拉;R·卡基雷迪;A·库马;V·哈里哈兰;G·E·蒙柯;F·C·雷德克;N·B·帕蒂班德拉;H·T·恩古;R·达文波特;A·辛哈 申请(专利权)人: 应用材料公司
主分类号: B24B37/22 分类号: B24B37/22;B24B37/24;B24D18/00
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人: 杨学春
地址: 美国加利*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 制造 工艺 生产 研磨
【权利要求书】:

1.一种形成研磨物件的方法,包括:

将第一液体的多个第一滴施配在研磨主体的一部分的表面上,其中所述表面包括通过至少部分地固化一定量的所述第一液体而形成的第一材料;

将所述多个第一滴暴露于电磁辐射以形成多个部分固化的第一滴,所述多个部分固化的第一滴相对于所述表面具有50度或更大的接触角;

将第二液体的多个第二滴施配在所述研磨主体的所述一部分的所述表面上,其中所述多个第二滴定位成与所述第一滴的一个或多个相邻;以及

将所述多个第二滴暴露于电磁辐射以形成多个部分固化的第二滴,其中将所述多个第一滴暴露于电磁辐射与将所述多个第二滴暴露于电磁辐射重叠,以形成所述研磨物件的层。

2.如权利要求1所述的方法,其中如果施配的第一滴尚未暴露于所述电磁辐射,则所述多个部分固化的第一滴相对于所述表面的所述接触角大于所述施配的第一滴相对于所述表面的平衡接触角。

3.如权利要求1所述的方法,其中所述第一材料包括选自由以下项组成的群组的聚合材料:聚酰胺、聚碳酸酯、聚酯、聚醚酮、聚醚、聚甲醛、聚醚砜、聚醚酰亚胺、聚酰亚胺、聚烯烃、聚硅氧烷、聚砜、聚苯、聚苯硫醚、聚氨酯、聚苯乙烯、聚丙烯腈、聚丙烯酸酯、聚甲基丙烯酸甲酯、聚氨酯丙烯酸酯、聚酯丙烯酸酯、聚醚丙烯酸酯、环氧基丙烯酸酯、三聚氰胺、聚乙烯材料、丙烯腈丁二烯苯乙烯(ABS)、卤化聚合物、嵌段共聚物及前述聚合材料的共聚物。

4.如权利要求1所述的方法,其中所述第一液体包括聚氨酯丙烯酸酯、表面固化光引发剂、以及体固化光引发剂。

5.如权利要求4所述的方法,其中

所述体固化光引发剂包括选自由安息香醚、苯甲基缩酮、乙酰苯酮、烷基苯酮及氧化膦组成的群组的材料,以及

所述表面固化光引发剂包括选自由二苯甲酮化合物及噻吨酮化合物组成的群组的材料。

6.如权利要求4所述的方法,其中所述第一材料包括选自由以下项组成的群组的聚合材料:聚酰胺、聚碳酸酯、聚酯、聚醚酮、聚醚、聚甲醛、聚醚砜、聚醚酰亚胺、聚酰亚胺、聚烯烃、聚硅氧烷、聚砜、聚苯、聚苯硫醚、聚氨酯、聚苯乙烯、聚丙烯腈、聚丙烯酸酯、聚甲基丙烯酸甲酯、聚氨酯丙烯酸酯、聚酯丙烯酸酯、聚醚丙烯酸酯、环氧基丙烯酸酯、三聚氰胺、聚乙烯材料、丙烯腈丁二烯苯乙烯(ABS)、卤化聚合物、嵌段共聚物及前述聚合材料的共聚物。

7.如权利要求1所述的方法,其中所述多个第一滴和所述多个第二滴在接触所述表面0.1秒与1秒之间暴露于所述电磁辐射。

8.如权利要求1所述的方法,其中所述多个部分固化的第二滴相对于所述表面具有50度或更大的接触角。

9.如权利要求1所述的方法,其中如果施配的第一滴尚未暴露于所述电磁辐射,则所述部分固化的第一滴中的每一个相对于先前形成的层的表面的接触角大于所述施配的第一滴中的每一个相对于所述先前形成的层的表面的平衡接触角。

10.如权利要求9所述的方法,其中所述多个部分固化的第二滴相对于所述先前形成的层的表面具有50度或更大的接触角。

11.如权利要求1所述的方法,其中所述第一液体和所述第二液体各自包括聚氨酯丙烯酸酯、表面固化光引发剂、以及体固化光引发剂,其中

所述体固化光引发剂包括选自由安息香醚、苯甲基缩酮、乙酰苯酮、烷基苯酮及氧化膦组成的群组的材料,以及

所述表面固化光引发剂包括选自由二苯甲酮化合物及噻吨酮化合物组成的群组的材料。

12.如权利要求1所述的方法,其中所述第二滴中的一个或多个与所述第一滴中的一个或多个部分重叠。

13.如权利要求1所述的方法,其中所述多个第一滴在接触所述表面0.1秒与1秒之间暴露于所述电磁辐射。

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