[发明专利]无粘性蚀刻干燥方法在审
| 申请号： | 201910517828.7 | 申请日： | 2019-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN110292792A | 公开（公告）日： | 2019-10-01 |
| 发明（设计）人： | 王环环;吕丽英;吴伟昌;黎家健 | 申请（专利权）人： | 瑞声科技（新加坡）有限公司 |
| 主分类号： | B01D12/00 | 分类号： | B01D12/00 |
| 代理公司： | 深圳市恒申知识产权事务所(普通合伙) 44312 | 代理人： | 赵胜宝 |
| 地址： | 新加坡卡文迪*** | 国省代码： | 新加坡;SG |
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| 摘要： | 本发明提供了一种无粘性蚀刻干燥方法，包括以下步骤：步骤S10：提供微机械结构，其包括具有背腔的基座、形成在基座一侧的振膜、与振膜间隔设置的背板以及形成在振膜及背板之间的牺牲材料；步骤S20：采用蚀刻液对牺牲材料进行蚀刻处理形成与背腔连通的振动空间；步骤S30：采用清洗液去除振动空间内残留的蚀刻液；步骤S40：在振动空间内通入水溶性液体去除振动空间内的清洗液；步骤S50：采用液态干燥剂完全替换振动空间内的水溶性液体；步骤S60：对微机械结构进行加热，使振动空间内的液态干燥剂气化。本发明的无粘性蚀刻干燥方法能够针对性地解决采用湿式蚀刻法得到的微机械结构的气隙所存在工艺粘连的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 振动空间 蚀刻 微机械结构 振膜 水溶性液体 液态干燥剂 牺牲材料 清洗液 蚀刻液 背板 背腔 去除 湿式蚀刻法 间隔设置 蚀刻处理 粘连 气化 气隙 加热 连通 替换 残留 | ||
【主权项】：
1.一种无粘性蚀刻干燥方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤S10：提供微机械结构，其包括具有背腔的基座、形成在所述基座一侧的振膜、与所述振膜间隔设置的背板以及形成在所述振膜及所述背板之间的牺牲材料；步骤S20：采用蚀刻液对所述牺牲材料进行蚀刻处理形成与所述背腔连通的振动空间；步骤S30：采用清洗液去除所述振动空间内残留的所述蚀刻液；步骤S40：在所述振动空间内通入水溶性液体去除所述振动空间内的所述清洗液；步骤S50：采用液态干燥剂完全替换所述振动空间内的所述水溶性液体；步骤S60：对所述微机械结构进行加热，使所述振动空间内的所述液态干燥剂气化以防止所述振膜与所述背板粘连。
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