[发明专利]一种用于治具自动剥离掩膜版的机构及其工作方法有效
| 申请号： | 201910510461.6 | 申请日： | 2019-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN110133967B | 公开（公告）日： | 2021-04-09 |
| 发明（设计）人： | 黄光华;曾杰;方华 | 申请（专利权）人： | 无锡吉微精密电子有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/683;H01L21/027 |
| 代理公司： | 无锡睿升知识产权代理事务所(普通合伙) 32376 | 代理人： | 张悦 |
| 地址： | 214000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于治具自动剥离掩膜版的机构及其工作方法，所述治具内装有由磁铁吸附的两个掩膜版；其特征在于：包括剥离机构、驱动机构、定位机构、拆装机构、放料机构和压料机构；所述治具安装于所述定位机构内；所述压料机构压住所述治具；所述拆装机构插入所述定位机构内吸附所述治具的磁铁；所述剥离机构负压吸住所述掩膜版；所述驱动机构驱动所述剥离机构移动将所述掩膜版放入所述放料机构内。解决了现有方案造成的需要雇佣大量的劳动力、剥离质量不可控报废率高、剥离掩膜版的效率低和增加了掩膜版的制造成本等问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 自动 剥离 掩膜版 机构 及其 工作 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于治具自动剥离掩膜版的机构，所述治具内装有由磁铁吸附的两个掩膜版；其特征在于：包括剥离机构(1)、驱动机构(2)、定位机构(3)、拆装机构(4)、放料机构(7)和压料机构(8)；所述治具安装于所述定位机构(3)内；所述压料机构(8)压住所述治具；所述拆装机构(4)插入所述定位机构(3)内吸附所述治具的磁铁；所述剥离机构(1)负压吸住所述掩膜版；所述驱动机构(2)驱动所述剥离机构(1)移动将所述掩膜版放入所述放料机构(7)内。
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