[发明专利]约瑟夫森结寄生电感的测量方法有效
申请号: | 201910506053.3 | 申请日: | 2019-06-12 |
公开(公告)号: | CN110133379B | 公开(公告)日: | 2020-07-31 |
发明(设计)人: | 王会武;唐鑫;公凯轩;王镇 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
主分类号: | G01R27/26 | 分类号: | G01R27/26;G01R33/035 |
代理公司: | 上海泰能知识产权代理事务所 31233 | 代理人: | 宋缨 |
地址: | 200050 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供一种约瑟夫森结寄生电感的测量方法,包括:提供第一测试结构,得到第一电感;提供第二测试结构,得到第二电感;提供第三测试结构,得到第三电感;提供第四测试结构,得到第四电感;基于第一测试结构及第二测试结构中导线的电感之和与第三测试结构及第四测试结构中导线的电感之和相同,计算得到单个约瑟夫森结的寄生电感。本发明采用SQUID电压‑磁通调制技术获取各测试结构的电感,再基于各测试结构之间的差异计算得到单个约瑟夫森结的寄生电感,是一种直接测量电感的方法,相比间接法将提升寄生电感的测量效率和准确性,为在超导数字电路设计中减小寄生电感影响提供依据。 | ||
搜索关键词: | 约瑟夫 寄生 电感 测量方法 | ||
【主权项】:
1.一种约瑟夫森结寄生电感的测量方法,其特征在于,所述约瑟夫森结寄生电感的测量方法至少包括:提供第一测试结构,所述第一测试结构包括串联于一端接地的第一约瑟夫森结及第二约瑟夫森结之间的第一约瑟夫森结阵,所述第一约瑟夫森结阵包括偶数个依次串联的约瑟夫森结,测量所述第一约瑟夫森结与所述第二约瑟夫森结之间的电感,得到第一电感;提供第二测试结构,所述第二测试结构包括串联于所述第一约瑟夫森结及所述第二约瑟夫森结之间的第二约瑟夫森结阵,所述第二约瑟夫森结阵包括奇数个依次串联的约瑟夫森结,测量所述第一约瑟夫森结与所述第二约瑟夫森结之间的电感,得到第二电感;提供第三测试结构,所述第三测试结构包括串联于所述第一约瑟夫森结及所述第二约瑟夫森结之间的第一导线,所述第一导线与串联各约瑟夫森结的下层导线位于同一平面,测量所述第一约瑟夫森结与所述第二约瑟夫森结之间的电感,得到第三电感;提供第四测试结构,所述第四测试结构包括串联于所述第一约瑟夫森结及所述第二约瑟夫森结之间的第二导线,所述第二导线与串联各约瑟夫森结的上层导线位于同一平面,测量所述第一约瑟夫森结与所述第二约瑟夫森结之间的电感,得到第四电感;基于所述第一测试结构及所述第二测试结构中导线的电感之和与所述第三测试结构及所述第四测试结构中导线的电感之和相同,计算得到单个约瑟夫森结的寄生电感。
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