[发明专利]一种基于柔性声表面波器件的温度传感器及监测方法在审
| 申请号： | 201910504265.8 | 申请日： | 2019-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN110186588A | 公开（公告）日： | 2019-08-30 |
| 发明（设计）人： | 吴化平;诸骏;刘振东;陈宇丹 | 申请（专利权）人： | 宁海县浙工大科学技术研究院 |
| 主分类号： | G01K11/26 | 分类号： | G01K11/26 |
| 代理公司： | 杭州斯可睿专利事务所有限公司 33241 | 代理人： | 王利强 |
| 地址： | 315600 浙江省宁*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种基于柔性声表面波器件的温度传感器，包括温度信号采集单元，信号转换单元，数据处理单元、信号传输单元和信号接收单元，所述温度信号采集单元用于采集温度信号，采用一柔性声表面波器件，当使外界温度发生变化时，声表面波传递时将会受到外界温度的影响，形成不同波形的声表面波；所述柔性声表面波器件包括叉指换能器、反射栅、压电层薄膜和柔性衬底，所述压电层薄膜位于柔性衬底上，所述叉指换能器、反射栅位于所述压电层薄膜上。以及提供一种基于柔性声表面波器件的温度传感器的监测方法。本发明精确性较好，重量轻，结构简单，易于携带和操作而且本发明的成本较低，易于大批量。 | ||
| 搜索关键词： | 声表面波器件 温度传感器 压电层 薄膜 温度信号采集单元 叉指换能器 声表面波 反射栅 衬底 采集温度信号 数据处理单元 信号传输单元 信号接收单元 信号转换单元 重量轻 监测 携带 传递 | ||
【主权项】：
1.一种基于柔性声表面波器件的温度传感器，其特征在于，所述温度传感器包括温度信号采集单元，信号转换单元，数据处理单元、信号传输单元和信号接收单元。所述温度信号采集单元用于采集温度信号，采用一柔性声表面波器件，当使外界温度发生变化时，声表面波传递时将会受到外界温度的影响，形成不同波形的声表面波；所述柔性声表面波器件包括叉指换能器、反射栅、压电层薄膜和柔性衬底，所述压电层薄膜位于柔性衬底上，所述叉指换能器、反射栅位于所述压电层薄膜上。
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